用于TSV硅衬底的碱性抛光液研究

在穿透硅通孔(TSV)工艺中,研究了碱性抛光液组分的组合方式和抛光液的稀释倍数对硅衬底去除速率的影响。分析了硅衬底的去除机理;研究了抛光液对Si/Cu去除速率的选择性;研究了抛光液的存储时间不同时pH值和硅衬底去除速率的变化。该抛光液通过在硅溶胶中依次加入表面活性剂、无机碱、有机胺碱,再用去离子水稀释15倍配制而成,并应用于TSV图形片。实验结果表明:该抛光液对硅衬底的去除速率较高,达到1.045 μm/min;采用该抛光液对TSV图形片抛光120 s后,铜柱露出2 μm;抛光液储存时间30天后,硅衬底去除速率仅损失1.3%。该碱性抛光液满足半导体制造行业要求。     

权重系数法全热换热器效率影响因素判定

利用权重系数建立了全热换热器的全热效率、显热效率及潜热效率三者的关系式,根据显热、潜热效率权重系数判定显热效率、潜热效率对全热换热器全热效率的影响程度。夏季工况下,我国大部分地区空调系统中全热换热器的全热效率主要受潜热效率影响。我国西北地区的空调系统不适合使用全热换热器。     

结合中福矿业遗产保护塑造焦作城市 特色空间

以中原地区最重要的矿业城市——焦作为研究对象,分析其"以矿为本,城随矿建"的城镇格局和矿业遗产现状,结合焦作市总体规划发展目标,提出将塑造城市特色空间与矿业遗产保护和利用相结合的观点。在此基础上,以矿业遗产保护为手段,整合自然环境、城镇格局、历史文化、道路交通和城市空间等要素,确定多层次的规划路径和具有落地性的设计策略,对于焦作以及其他亟待城市转型的矿业城市在城市特色、景观规划和矿业遗产保护方面具有启发和借鉴意义。     

煤矸石多孔砖对建筑能耗的影响

多孔砖作为黏土实心砖的替代产品,可以提高砌筑墙体的热阻,加强围护结构的保温性能。以煤矸石为原料制作多孔砖,不仅可以消耗大量煤矿产煤废料,而且可增加多孔砖的强度。分析了煤矸石多孔砖对生产能耗、施工能耗、建筑能耗的影响,煤矸石多孔砖具有显著的节能效果。     

聚合物浊度标准溶液的研制

浊度(turbidity)是液体光学性质的表达,用来表征液体的清洁程度.目前,国际上常用的两种浊度标准物质主要有Formazine浊度标准物质和聚合物浊度标准物质.     

气体微机电传感系统中的片上ESD保护

摘要是本文提出了一种应用于微机电系统嵌入式传感器片上系统新工艺上的静电放电防护器件的电路结构.这个静电放电防护结构采用了以地端为参考电位的,多指条晶闸管类器件,包括以下几个部分1)输入/输出防护,2)电源钳位3)微机电处理过程中的内部传感器电极.本工作也提出了一种在有限的芯片面积下实现静电放电防护等级要求的多指条版图布局.这种静电放电防护设计体系在器件级和片上系统级都得到了测试和验证,有效性和鲁棒性都得到了证实.测试数据表明采用了本防护体系的片上系统在不引入闩锁,漏电流只有10-10A的情况下承受了4.1kV的人体放电模式的静电测试.     

基于Kalman滤波的人体心电跟踪监测系统设计

针对家庭心电健康监护,以及提高低功耗心电监测系统监测的准确性,设计并实现了一种采用卡尔曼滤波的心电监测系统。该系统采用AD8232作为模拟前段对通过电极和三导联心电采集线提取的微弱心电信号进行滤波放大,再经STM32处理器进行卡尔曼滤波处理,最终在LCD得到清晰稳定的生物电信号及心率。经实验样机初步测试,在人体保持安静的情况下,LCD显示的心电信号清晰稳定,能够反映人体实际心电特征。结果表明该设计较好地完成了心电信号的滤波处理,能够满足家庭心电监测的需求,对于家庭医疗设备有一定参考价值。     

澳门东亚运动会多功能场馆钢结构主桁架整体提升技术

介绍澳门东亚运动会多功能场馆钢结构制作、安装和机电设备工程中的核心技术包括:整体提升安装方案、主桁架整体提升工艺及技术难点、提升过程中的数据统计分析技术等在内的钢结构主桁架整体提升技术,供推广使用。     

场地卓越周期的讨论与场地建筑的共振现象

阐述了场地卓越周期测定方法和理论计算方法,并论述了卓越周期在抗震工程中的作用,结合工程实例,分析了场地卓越周期与场地建筑物共振现象的内在联系.     

波纹板填料表面液体降膜流动的特性分析

基于降膜流动实验台,结合计算流体力学方法(Computational Fluid Dynamics, CFD)研究了波纹板表面液体的平均液膜厚度和有效润湿面积等定量信息,并通过三维模拟进一步分析了喷淋密度和波纹倾斜角度β对降膜流动特性的影响。结果表明,液体在波纹板表面的流动并非均匀,分为沟流和溪流两种形式;当喷淋密度较小时,液体在波谷内形成沟流,当喷淋密度达到400 m3/(m2?h),液体跨越相邻波纹进行溪流流动;两种形式波纹板整体的润湿性能均较差,且液膜厚度分布不均;波纹倾斜角度对降膜流动特性影响较大,90°时更有利于提高有效润湿面积。