Reliability Investigation of Semiconductor Coolers

INTRODUCTION0~nocSetheconductorcoolershavebeeninproductionforfourdecades.Withtheprogressofscienceandtechnology,theaPPlicationofsemiconductorcoolershasbeengraduallyi.c..i.g[']becauseoftheiradvantagesofsmallsize,lightweight,nomechanicalvibration,nowearandnonoise,noeffectofgravityandnopollution;fultllermore,adjustablecoolingrateandeasytemperatureandheattransfercontrolbynotonlycoolingbutalsoheating.SincethefirstinternationalThermoelectricityConferencein1976,15meetingshavebeenheld,andnewresea…     

微泵膜片在静电驱动下的计算机模拟

对微泵膜片在静电力驱动下产生的形变和由此引起的微泵腔体体积的变化进行了计算机模拟分析,得出了膜片厚度,形状和静电驱动电压对微泵腔体体积变化的影响,以及膜片振动的固有频率与膜片厚度之间关系。研究结果为微泵结构的设计优化提供了依据。     

光敏Z-元件转速测量系统的研究

为了对转动装置的转速进行实时检测,研制出一种光敏Z-元件转速测量系统.应用光敏Z-元件设计了一种新型转速传感器,并利用该传感器构建了由转速采集、数据处理和数据显示等电路模块组成的测速系统电路.系统程序设计中采用分段采样法对计数误差进行修正,提高了转速测量系统的精确度.由于光敏Z-元件的特殊性质,测速系统具有精度高、响应速度快等特点.     

阳极键合电流模型的实验研究

随着近年来MEMS-CAD的迅速发展,阳极键合技术作为MEMS领域的基础工艺,其模拟仿真受到了重视.本文分析现有的阳极键合电流模型产生偏差的原因,在实验基础上,给出一组定量模拟平面电极键合电流的公式.结合点电极键合的扩展模型,提出点电极键合电流的计算方法.实验证明这种方法给出的模拟公式实际反映了点电极键合电流的变化规律.     

适用于微机械陀螺接口电路的新型开关解调方法

本文提出了一种可以运用于微机械陀螺接口电路中的新型开关相敏解调方法,它的电路实现比较容易,同时能够良好地抑制前级的直流电位偏差,可以最大限度地减小由于微机械陀螺接口电路的梳齿电容的不匹配而造成的直流失调电压,从而使所得到信号具有更小的谐波失真,提高陀螺的检测灵敏度.     

功率载荷下叠层芯片封装的热应力分析和优化

应用有限元分析软件ANSYS,模拟功率载荷下叠层芯片封装中芯片温度和应力分布情况,得出芯片的温度、应力与材料厚度、热膨胀系数之间的关系,根据分析,对模型进行了优化.优化后的模型最高温度下降了3.613 K,最大应力下降了33.4%,最大剪应力下降了45.9%.     

基于555多谐振荡器检测的碳纳米管湿敏传感器

针对使用仪器检测电容型碳纳米管湿度传感器的电容信号不利于传感器的使用与推广问题,提出了一种基于555多谐振荡式电路检测的电容型碳纳米管湿度传感器.首先,分析了传感器工作原理以及检测电路的检测原理,设计并制作了电容型碳纳米管湿度传感器;然后,分别使用仪器及检测电路对传感器进行测试;最后,对传感器响应时间进行了测试与分析....     

镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件

为解决铝萍膜和银萍膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐馈性差、工作低等问题,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上,对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究,并将其集成在耐高温压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试,结果表明传感器可在室温至200℃温度压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试,结果表明传感器可在室温至200℃温度范围工作并达到较高精度,可以推广使用。     

校内实验室开设微电子生产实习的探索

微电子芯片生产的"超净"限制了学生在大企业芯片生产线上的实习机会.为此,我校在校内实验室建立了微电子平面工艺线,为学生开设生产实习.在教师指导下,学生动手进行晶体管制作的全部工艺操作和测试.为使学生对实际工业化生产方式和生产过程有所了解,我们对教学内容进行合理安排,生产实习前增设了认识实习.实践证明,校内生产实习有助于学生实践能力的培养和综合素质的提高.     

低噪声电容式MEMS加速度计接口专用集成电路设计

为了提高MEMS电容式加速度计的检测分辨率,降低系统噪声,提出了一种改进的基于开关电容的闭环检测电路.该电路采用新型的电荷积分器实现电容-电压转换,对寄生电容不敏感,具有非常低的噪声,同时,降低了由于运放的有限带宽、有限增益以及失调造成的影响.采用相关双采样（CDS）技术进一步消除了1/f噪声和电路中的失调.同时为了精确模拟传感器的结构部分,对结构的等效电学模型进行了改进,引入两个压控电流源,分别由互为反相的两个时钟信号控制,消除了运放失调、噪声等非理想因素产生的误差.实验制作了ASIC芯片与传感器结构的双片集成微加速度计,芯片采用0.5μmCMOS工艺流片,系统测试结果表明该闭环加速度计的灵敏度为620mV/g,非线性度为0.126%,噪声密度为24μg.Hz-21,整体功耗为30mW.