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设计的MEMS高g加速度传感器抗高过载能力差,将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。本文通过分析传感器结构对其抗过载能力的影响,及在高冲击测试中传感器结构损坏情况的统计,提出了一种新颖的优化高g加速度传感器抗高过载能力的方法。该方法是在结构最易断裂的梁根部和端部添加倒角,以分散在冲击作用下传感器结构这些部位受到的应力,进而提高加速度传感器的高过载能力,并从理论仿真分析了该方法的可行性。最后利用Hopkinson杆测试方法对优化前后的加速度传感器进行冲击测试,测试结果表明,加速度计的抗高过载能力从180,000 g提高到240,000g,说明该优化方法显著,明显提高了该类加速度传感器的抗高过载能力,设计的加速度传感器达到了较理想的抗高过载能力。 相似文献
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研究如何用变参数法优化结晶器振动装置的振动参数,使振动装置在满足工艺要求的条件下,稳定性和可靠性均能得到有效的提高。 相似文献
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压电加速度传感器输出信号可变增益控制 总被引:1,自引:0,他引:1
针对压电加速度传感器信号调理电路中标定过程繁琐、标定效率低下、系统在运行过程中输出信号增益不能改变的问题,提出了在电荷放大器之后由微控制器控制数字电位器组成可调增益的电压放大电路,实现加速度计输出信号的自动标定和增益的可变控制.分析压电式加速度计的信号调理电路,在电压放大电路中选择使用数字电位器的方法实现可变增益控制,... 相似文献
99.
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