一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究

提出了提高硅深反应离子刻蚀的新方法。该方法在硅的侧壁PECVD淀积SiO2，硅的底部采用热氧化的方法形成SiO2。由于在刻蚀中硅与SiO2的刻蚀选择比为120∶1-125∶1，因此SiO2层可以抑制在硅-玻璃结构的刻蚀中出现的lag和footing效应，扫描电镜结果也证明，采用改进工艺后的硅结构在经过长时间的过刻蚀后仍然保持了完整性。硅陀螺测试结果也证明了改进工艺的正确性。     

微声学器件封装特性研究

分别采用TO-CAN和SMT形式对微声学器件进行了封装，并对封装后的器件进行了耦合腔测试和指向性测试。测试结果表明，通过减小前入声孔直径大小，能够抑制微音频器件的高频响应；另外通过采用不同的封装结构参数，能够实现∞形和心脏形指向性的微超声器件。     

Windows95/98平台上实现实时控制的关键技术

本文通过比较DOS和Windows 95/98两种操作系统，指出了在Windows95/98平台上实现实时处理的难点，给出了在Windows95/98环境下实现高精度定时的3种方法，提出在Windows95/98环境下实现实时中断的两种方案，并结合国家自然科学基金项目《基于Windows平台超声波铣削机床数控系统的研制》，利用动态连接库实现了在Windows95/98下的实时中断。     

切削弧线锥齿轮的现代方法(一)

本文介绍 随着祖国工业化的发展,机床工业和其他机器工业对于弧线锥齿轮的需要也就日益增多。由于其在制造上需用特种机床和特种调整,因此在我国使用还不是很普遍与掌握得不够好。再加上它的切削原理及其调整计算的根据显得很复杂难懂,使人望而生畏,因而在这方面知识掌握得也不够多。这样也就限制了在我国广泛应用的可能。 苏联的机床工业是世界上最先进的工业,它已制造出切削这种弧线锥齿轮的各种型式和尺寸的机床。其中尤其是最近完成的５２８型机床,其设计结构要比格里逊厂出品的优越得多,它也就为弧线锥齿轮的制造开辟了广阔的前途;使得苏联的各种企业,都广泛采用了这种齿轮传动。 但是这种方法的原理和计算根据,对於一般的苏联机械工作者来说,也是迫切需要了解的。因此,苏联“机床与工具”编辑部,应读者的要求,特请５２８型弧线锥齿轮切齿机的设计者Ｂ．Ｈ．凯特令斯基同志用最易懂的说法,解释这种齿轮切削方法的基本原理和装置调整的计算方法。文中所介绍的数据多是崭新的,方法都是最近的,而且有很多是他自己创造的。 本刊为了适应读者的要求,特请对这方面有修养的曹存昌工程师将已发表的四篇文章译出,陆续介绍给读者,希望对于我国的弧线锥齿轮的制造事业有所帮助。     

并联型有源电力滤波器死区效应的研究

分析了并联型有源电力滤波器(PAPF)主电路IGBT管的死区效应对滤波装置滤波效果的消极影响,研究了有源滤波器中逆变器的死区效应及其补偿方法.提出了基于改进规则采样算法的脉宽调制(PWM)和通过电流极性判断的电流反馈型死区效应补偿策略.对设计出的样机进行了实验,实验结果证明,该设计方案是有效和正确的.     

JNS耐酸钢板在邹县百万机组烟囱工程中的应用

邹县发电厂四期工程再扩建2×1 000MW超超临界发电机组,配置一座240 m高、单根排烟筒顶部出口内直径8.0 m的双管烟囱.综合经济技术指标比较,从钛合金复合钢板、耐酸胶泥砌筑耐酸砖、JNS耐硫酸露点钢板+50 mm厚内配钢丝网钾水玻璃耐酸砂浆保护层多个方案中,选择用JNS耐酸钢板钢内筒.本文介绍和分析了JNS耐酸钢板内筒的优点和施工特点.     

本期推荐——吡唑系列化合物

中间体专利工艺栏目介绍的是最新中间体专利信息 ,其内容大多选自近期出版的美国化学文摘(CA)等文献 ,如需专利原文者 ,请与编辑部联系。电话 :0 10 64 44 40 3 2 83 5E mail:shengy @cheminfo gov cn     

模糊统计识别及其在石油测井解释中的应用

Fuzzy集理论是近十几年发展起来的一个数学分支,人们称它为模糊数学。它用与经典数学不同的逻辑基础研究和处理客观世界存在的模糊现象。Fuzzy集理论已在一些领域,特别是在有些过去被认为是“数学禁区”的领域,得到了应用。在地质勘探工作中,遇到大量复杂的现象。由于客观因素变化复杂,又由于人们对客观事物考察手段的限制,不可能对复杂现象有清晰的了解。有时,一些复杂现象也没有必要做清晰的了解。这样,人们对复杂现象的认识就具有一定的模糊性,出现了模糊     

倾斜场加速管的物理设计方法

本文介绍了一种各工艺段结构相同、且中心粒子轨迹具有“零进,零出”约束条件的加速管设计方法。给出了场型简化,轨迹计算,场型整数化等公式。最后给出了四场段工艺段设计结果及中心轨迹和接收相图。     

提高绕线式异步电动机的功率因素节约电能

新余钢铁厂水泥车间生产上使用的四台磨机所配用的电动机均为绕线式异步电动机。型号分别为:JR_(137)-8,130千瓦(2台);JRQ_(148)-8、6KV、240千瓦:JR_(137)-8、210千瓦。定子绕组的接法均为Y型,功率因数均为0.85。