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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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童年期是情商教育的重要时期,高社会临场感的媒体和交互为儿童情商教育中必要的情境和互动提供了更有效的途径.通过对儿童情商教育中情境和互动实现方法进行分析,围绕多媒体融合和复合型交互进行研究.首先分析多媒体融合及复合型交互在提升社会临场感的有效性,从社会临场感的技术因素与社会因素探讨儿童情商教育多媒体交互的方法;然后提出儿童情商教育多媒体交互的设计维度以及具体的构建流程.以幼儿园为应用场景,以学龄前儿童的普遍情商问题和学习操作能力为中心,设计一套基于多媒体交互的学龄前儿童情商教育课程,为相关设计提供了参考. 相似文献
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12月21日,中国通证数字经济峰会,著名经济学家樊纲主持了会议,会议探讨了数字经济:时代的机遇与思考。提出通证数字经济,这是一件有重大意义的事情。通证(token)的全称是"可流通的加密数字权益证明",实际意义是可交互使用的加密数字权益证物。 相似文献
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