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1.
基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K2)和高谐振频率(f)特性,有望满足5G应用的频段要求。然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低。该文提出一种具有SiO2温度补偿层的SiO2/LN双层结构XBAR,并建立了精确分析层状结构XBAR的有限元模型。理论分析表明,该双层结构XBAR上激励的主模式是一阶反对称(A1)兰姆波。通过合理优化结构参数配置,能够获得高谐振频率(f~4.75 GHz)和大机电耦合系数(K2~8%),同时其温度稳定性也得到显著改善(TCF~-36.1×10-6/℃),相较于单层XBAR结构提高了近70×10-6/℃,这为研制温补型高频、大带宽声学滤波器提供了理论基础。 相似文献
4.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
5.
6.
7.
锁环式快开门安全联锁装置是适用于快开门式压力容器—锁环式快开门容器的安全联锁装置。其主要由泄放螺栓、弹簧管、连杆、曲柄滑块、曲柄滑块旋转轴、折叠连杆定位销、锁环补偿块组件构成。本装置满足TSG 21中3.2.16条对安全联锁装置的要求,为容器操作人员、周围环境及容器系统提供安全防护。 相似文献
8.
长平煤矿机掘三队针对53031巷掘进期间工作面安装的SSJ-800型带式输送机经常出现跑偏打滑现象,导致输送机运行负荷大、煤矸运输效率低等,通过技术研究,对输送机安装了一套电液防打滑张紧装置.通过实际应用效果来看,该装置具有动作保护灵敏、故障率低、防打滑效果好等优点,输送机采用该装置后打滑事故率降低了7%,取得了显著应用效果. 相似文献
9.
10.
相较于现有防火规范,北京市《文物建筑防火设计规范》(DB 11/1706—2019)提出了文物建筑消防给水仅采用一套系统,不再区分室内消火栓和室外消火栓,且利用消火栓室外设置方式进行灭火扑救,因此对消防用水量、栓口压力、消火栓设置等有了相应的新设计要求。同时针对文物建筑灭火中运用较多的自动喷水灭火系统、气体灭火系统、移动式高压喷雾灭火装置、灭火器、消防水炮等,制定了详细的设计标准。对规范中重点设计条款进行了详细解释,可为设计人员更好地理解、应用此规范提供参考。 相似文献