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首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺.设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺.利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术,简化了该微陀螺的制作工艺.该微结构的对称性、一致性和加工精度有很大改善,尤其是振动梁、激励部件和敏感部件等关键部件.详细阐述了该微陀螺的工作原理和结构设计,完成了微陀螺关键部件的制作和样机组装.利用NF公司的FRA 5087频率响应分析仪测试了样机大气下的振动模态,其中驱动频率为5.563 2 kHz,检测频率为5.553 4 kHz,频差为9.8 Hz,小于0.2%.利用频谱分析的方法测试了样机的哥氏力.测试结果表明这种摇摆质量微陀螺的设计与制作方法是可行的. 相似文献
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提出一种新的具有饱和特性的控制算法,利用该算法,按照参考模型的误差状态,在相空间中平移滑模切换面,可以使滑模变结构控制的扰动不变性在系统运行状态的全局范围内成立;为了抑制抖振,同时采用一种PD型的控制结构限制系统的滑模态趋近速度.仿真结果表明,该设计方法十分简单、有效. 相似文献
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超精密加工技术的发展及对策 总被引:12,自引:1,他引:11
介绍超精密加工及其应用背景,发展动向,以及超精密加工关键技术的一些最新成果,从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化,廉价化发展趋势,同时就如何发展诸如模块化部件,执行系统,测量控制和环境控制等超精密加工关键技术提出一些新的观点和方法。 相似文献
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超精密环境温度控制及温度测量技术研究 总被引:7,自引:0,他引:7
分析在超精密加工环境中进行高精度温度测量与控制的原理及方法。在分层次逐步实现的原则下,依据传热学原理,规则并初步建成了一个超精密的加工环境。 相似文献
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超精密数控系统由于极高的精度指标和大量的插补运算,对伺服控制系统的运算能力提出了很高的要求。数字信号处理器(DSP)基于高效的运算能力、良好的开发环境支持,在超精密数控系统中获得了成功的应用。现对超精密数控系统中DSP的应用进行了分析研究。 相似文献
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针对火箭炮稳瞄系统存在较大的不确定性及干扰,其特征参数、阻尼以及负载干扰等,将随着被控炮之间的差异、载弹量、目标位置的变化及工作海况的影响而产生较大变化的特点,提出了一种PFC—PID串级透明控制策略,通过内环PID控制来提高抗干扰性,外环采用预测函数控制来获得良好的跟踪系能和强鲁棒性。通过仿真验证了该方法具有良好的鲁棒性和抗干扰能力及跟踪性能。 相似文献
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