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首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺.设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺.利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术,简化了该微陀螺的制作工艺.该微结构的对称性、一致性和加工精度有很大改善,尤其是振动梁、激励部件和敏感部件等关键部件.详细阐述了该微陀螺的工作原理和结构设计,完成了微陀螺关键部件的制作和样机组装.利用NF公司的FRA 5087频率响应分析仪测试了样机大气下的振动模态,其中驱动频率为5.563 2 kHz,检测频率为5.553 4 kHz,频差为9.8 Hz,小于0.2%.利用频谱分析的方法测试了样机的哥氏力.测试结果表明这种摇摆质量微陀螺的设计与制作方法是可行的. 相似文献
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针对分子动力学模拟存在的缺点,提出了基于晶格动力学模拟纳米薄膜热特性的新方法,并用该方法模拟了各种不同厚度的硅和氩纳米薄膜的比热、熔化温度、热膨胀系数和热传导系数等热特性参数。计算结果表明纳米薄膜具有与宏观晶体不同的热特性,并且呈现随纳米薄膜厚度变化的尺寸效应:纳米薄膜越薄,则熔化温度越低、比热越大、面向热膨胀系数越大、法向热传导系数越小;当纳米薄膜厚度远小于相应的宏观晶体的声子平均自由程时,法向热传导系数远小于相应的宏观晶体的热传导系数,并与纳米薄膜厚度成正比。 相似文献
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提出一种新的具有饱和特性的控制算法,利用该算法,按照参考模型的误差状态,在相空间中平移滑模切换面,可以使滑模变结构控制的扰动不变性在系统运行状态的全局范围内成立;为了抑制抖振,同时采用一种PD型的控制结构限制系统的滑模态趋近速度.仿真结果表明,该设计方法十分简单、有效. 相似文献
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针对火箭炮稳瞄系统存在较大的不确定性及干扰,其特征参数、阻尼以及负载干扰等,将随着被控炮之间的差异、载弹量、目标位置的变化及工作海况的影响而产生较大变化的特点,提出了一种PFC—PID串级透明控制策略,通过内环PID控制来提高抗干扰性,外环采用预测函数控制来获得良好的跟踪系能和强鲁棒性。通过仿真验证了该方法具有良好的鲁棒性和抗干扰能力及跟踪性能。 相似文献
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多体系统理论在数控加工精度软件预测中的应用 总被引:3,自引:0,他引:3
基于多体系统理论和虚拟加工技术的基本原理,阐述了多体系统的特征矩阵,研究了数控机床刀具成形函数和空间误差模型,提出和分析了机床加工精度软件预测的建模方法,最后为了验证所述精度预测方法的有效性,进行了软件预测和实体加工的加工精度比较实验. 相似文献
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