全自动太阳能电池测试分选设备的研制

太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选结构设计、步进电机精密驱动、高速数据交换和电气控制等技术方面达到较高水平。该设备具有全自动化,操作简便,测试精确,运行稳定,碎片率低、生产效率高等特点,性能完...     

UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计

介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。     

基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计

开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统。系统采用PROFIBUS-DP总线和ASI总线相结合的控制方式,实现了PECVD石墨舟硅片的装卸过程自动化,提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平,降低了劳动强度,提高了产品质量。     

UHVCVD外延设备的热场设计

介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。     

基于路标隐式分解的前向搜索规划方法

提出一种利用路标信息隐式分解前向搜索过程的规划算法。以路标计数启发式估值的降低作为分界点,将规划任务分解成多个规模更小的子任务,当访问到估值更低的状态时,表明搜索过程完成一个子任务的求解,反复执行这一过程直到路标计数启发式估值降低为零。与其它将路标具体指定为中间目标的分解方法相比,基于路标计数启发式的隐式分解方法能指导前向搜索过程快速向目标方向推进,实现搜索空间的大规模压缩,在求解效率和规划解质量上都有较大提高。     

GaN-MOCVD设备MO源注入摩尔流量的精确控制

分析了GaN-M OCVD 设备中M O 源注入摩尔流量控制的基本原理,给出了决定M O 源注入摩尔流量的三个重要条件,然后针对于GaN-M OCVD 中5 种常用的金属有机源,根据工艺生长的需要,分别给出了MO 源注入摩尔流量精确控制的解决方案.     

钟罩式高温烧结炉

研制出一台满足集成电路微组装工艺所需的高温烧结炉，介绍该烧结炉的结构组成和设计原理。     

RIE终测系统的抗高频干扰实验初探

本文描述了RIE终点检测系统对高频辐射干扰的抑制,提出几种解决高频干扰的方法     

智能规划的逻辑编码方式研究

逻辑编码方式的设计和实现是基于转换的规划方法有效处理的关键.对几种智能规划方法中的逻辑编码方式予以分析,分别介绍线性编码、基于Graphplan的编码、基于状态的编码、基于动作的编码、基于命题的编码、基于转移的编码、提升的因果编码、基于多值变元的编码、基于有向二元决策图的编码以及基于约束可满足的编码等,并结合国际规划竞赛和相关论文等的实验结论,说明上述编码方式的有效性和可行性,分析该类编码方式在其他领域的应用前景.最后,提出目前智能规划方法中逻辑编码方式研究所面临的挑战、可能的处理方法,以及与之相关的研究热点与趋势.     

智能规划中的动作互斥编码方式研究

以规划领域中的动作为对象,研究规划方法中的动作互斥编码方式。介绍基于规划图的动作互斥编码、利用提取领域相关信息生成动作效果的直接阻碍与间接阻碍编码,以及依赖于域转移图动作间的长距离互斥编码,说明每类动作互斥编码的构造方法及其削减搜索空间、提高求解效率的作用。