双离子束溅射镀膜机的维修性分配和预计

分析了双离子束溅射镀膜机的设备原理、功能层次,参照《GJB/Z57维修性分配与预计手册》中的相关要求,根据各部件的故障率和维修经验数据,对双离子束溅射镀膜机进行维修性分配与预计。     

基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计

开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统。系统采用PROFIBUS-DP总线和ASI总线相结合的控制方式,实现了PECVD石墨舟硅片的装卸过程自动化,提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平,降低了劳动强度,提高了产品质量。     

UHVCVD外延设备的热场设计

介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。     

MOCVD工艺中源材料用量计算方法

介绍了MO源和气态源实际用量的计算原理与方法,并在中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的MOCVD设备中应用;提出了提高MO源利用率、降低工艺成本的三项措施。     

工业控制计算机部件的可靠性分析

以研华工控系列产品为例，对工业控制应用系统中计算机控制部件的可靠性指标、电磁兼容性认证等问题进行了分析，并提出了计算机控制部件的选型中应注意的几个问题。     

高温MOCVD温度控制系统研究与设计

温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一,直接影响材料生长的质量.通过对温度控制系统的研究,分析了MOCVD温度控制特点,介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统,着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高温MOCVD设备中的应用.该系统控制效果良好,能进行稳定、均匀、高效的温度控制,为高温MOCVD的工艺研究奠下了坚实的基础.     

生产型GaN MOCVD设备控制系统软件设计

对“用于GaN的生产型MOCVD”设备控制系统的软/硬件结构、关键技术进行了描述,介绍了国外几种生产型GaNMOCVD设备控制系统的特点;分析了MOCVD设备控制技术的发展趋势。     

MOCVD喷淋头的焊接工艺研究

喷淋头是MOCVD反应器中的关键部件,其设计和加工难度大。采用特殊的结构设计和合理工艺方法,配合加工工装和焊接夹具,选择合理的基准面和焊接参数,降低了加工难度。     

基于以太网通讯模块的MOCVD设备控制系统设计

根据MOCVD设备中控制量多、实时性强的要求,选用OMRON公司的10M以太网模块实现上位机与PLC之间的高速数据传输。介绍了以太网模块ETN21的安装与设置方法,给出基于UDP协议的以太网通讯程序。     

Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用

介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。