微胶体推进器起始工作电压的估计方法研究

提供了一种考虑到微制造工艺实际的对微胶体推进器的起始电压进行估计的方法.本方法的关键在于把基于深度干法腐蚀的微推进器的两极简化成一组双曲等势面中的两个,利用拉麦方程得到微推进器两极间静电场分布的近似解.进而分析微胶体推进器源极顶端工质液滴的静电力和表面张力的平衡,得到微胶体推进器的起始工作电压.按照工作电压的估计方程,基于ICP腐蚀,设计了4种微胶体推进器.利用悬臂梁和电涡流微位移传感器对微推进器的测试结果表明,利用该方法对微胶体推进器起始电压进行的估计和实际测试结果有很好的一致性.     

智能机器人的研究

随着MEMS技术的发展，侦察传感系统的微型化、智能化成为可能，微型机器人成为MEMS技术军事应用的一个重要发展方向。本文根据国内外发展现状开展了基于MEMS技术的智能机器人研究。首先论述了智能机器人关键技术，并逐一提出了解决办法，在此基础上设计了一种以磁、声和红外传感器为基础的，采用DSP技术的智能机器人。该智能机器人可用于军事目标侦察和识别。     

微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.     

窄脉冲信号的弹载存储测试技术

本文研究了一种非周期性窄脉冲信号的弹载存储测试技术,它是针对我国某导弹研制的需要而设计的。可实时记录导弹地面发射系统发出的指令——窄脉冲信号,该项技术的研制成功对分析和解决导弹指令传输方面的故障问题具有重要意义。     

底排弹测试现状及展望

本文在对底排弹测试技术现状调查和分析的基础上,概括出了底排弹测试的两个基本层次,总结了底排弹测试的各种方法,指出了各种测试方法的优缺点。针对现行测试方法在动态领域的不足,探讨性地提出了动态存储测试方法。     

飞行器动态数据存储测试系统的可靠性分析

本文针对某回收式飞行器动态数据存储测试系统,从可靠性设计理论出发,在建立元器件可靠性模型及分析了飞行器测试系统的应用环境、构成系统可靠性关键元器件工作环境的基础上,对飞行器测试系统进行了详细可靠性预计计算,预测系统是否能达到要求的可靠性指标。在分析了一种可靠性分配算法的基础上,进行可靠性分配,将系统的可靠性指标分配到构成系统的电路单元上。     

基于PCI和FPGA的信号源设计

信号源是航天遥测试验的核心部件,它作为地面设备提供实验过程中所需的各种参数;本信号源采用模块化设计方法,将PCI技术和FPGA技术进行有机结合,对信号源进行了系统方案设计、系统硬件设计和系统软件设计等工作,通过控制FPGA内部ROM的读写、高精度D/A转换器AD9744的转换和多路选择开关ADG1208的选通,产生多路参数可控模拟信号输出;测试结果满足设计要求,已经成功应用于某地面测试设备的自检和检测中。     

4H-SiC无线无源高温压力传感器设计

高温压力传感器研制的主要目的是解决高温恶劣环境下的压力测量问题,SiC是制造高温压力传感器的理想材料,结合薄膜技术与陶瓷厚膜技术,提出了一种新型的4H-SiC无线无源电容式高温压力传感器设计方案。应用Ansys有限元分析软件进行仿真,600℃时灵敏度为2.65 MHz/bar,说明传感器在高温下具有较高的灵敏度,对制备过程中的关键工艺——SiC深刻蚀进行了验证,刻蚀深度达到124μm,满足传感器制备要求。     

一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器(英文)

提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应率和响应时间分别达到2.85×108cm Hz(1/2)/W、1 800 V/W和6 ms。本文给出了该种热电堆红外探测器高度兼容于CMOS工艺的制备流程,使器件的高效量产和低成本生产成为可能。     

基于悬浮吸收层的热电堆红外探测器结构设计

在这项工作中,设计一种新颖的热电堆红外探测器结构。该检测器利用悬浮吸收层-热电堆双层结构来实现高性能,同时具有相对小的尺寸。该双层结构的实现是通过引入两个分离的牺牲层,分别包括热电堆下方的多晶硅膜和其上方的聚酰亚胺沉积实现。尺寸优化后的仿真结果表明,该红外探测器的探测率、响应率和响应时间分别可以达到2.85e8 cmHz （ 1/2） / W, 1800 V / W和6毫秒。此外,本文提出热电堆红外探测器的制造方法是高度兼容于标准的CMOS工艺,这就使其高产量和低成本的生产成为可能。