掺砷、掺磷及掺硼二氧化硅乳胶的化学分析

前言二氧化硅乳胶是一种新型的液态扩散源,它已广泛应用于集成电路和半导体器件的生产上。例如,纯二氧化硅乳胶经氧化致密可作屏蔽层,掺砷二氧化硅乳胶可作模拟集成电路的埋层扩散源,掺磷二氧化硅乳胶可作为衬底扩散源,掺硼二氧化硅乳胶则可作为PNP管发射区的扩散源等等。使用这些新型液态扩散源,可使工业流程缩短,成品合格率提高。我们参照国外有关资料研制成功的此类二氧化硅乳     

二氧化锆含量测定方法的选择与改进

试剂二氧化锆(ZrO_2)用于分析,或作为光源等材料。其含量测定方法一般都采用苯羟乙酸重量法,但该法分析费时,操作不便,且易得偏高结果。因此要改用快速的络合滴定法。本文对样品处理及分析方法进行选择与改进,以确定含量的常规分析法。 (一)样品处理方法选择 ZrO_2可用硼砂及过氧化钠熔样后直接络合滴定。我们验证了硼砂法,结果良好,但在