特征提取在硅内部微/纳米级体缺陷检测中的应用

提出了一种利用特征提取来对硅中微/纳米级体缺陷的激光散射图样进行分析,以获得缺陷大小信息的分析方法.给出了该方法中第一特征值和第二特征值的定义,指出通过所提出的第一特征值及第二特征值即可迅速地判断出缺陷的大小量级所在.这种分析方法具有分析速度快,在体缺陷小于1μm时分辨率高,且可使系统实现自动化等优点.     

无导轨绝对距离测量技术的研究

本文概述了基于小数重合法的无导轨绝对距离测量技术并报导作者研制的多波长无导轨绝对距离测量系统。通过谐振腔腔长的调谐，形成二级合成波长值分别为１ｍ、１１．１ｍｍ，测量精度可达５μｍ±１×１０（－１）×Ｌ（Ｌ为被测长度）。     

非接触型光外差轮廓仪

本文介绍一种纳米级非接触型高精度光外差轮廓仪,它是基于普通光路的光外差干涉仪。工件表面被两束有微小频差的激光束所照射,其中一束经聚焦后用作测量光探针来扫描工件表面,另一束则用作参考光束。两束光经表面反射后产生干涉。测量信号和参考信号的相位差与表面的微不平值成正比。仪器的横向分辨率为2μm,高度分辨率为1 nm,它不需要对试样作大范围的调整,且可用试样自身作参考面。信号经光电转换后由微型计算机进行处理,它能快速完成测量、计算、显示及打印出各种参数和曲线。     

在3．39μm波段甲烷吸收特性的测量与应用研究

报道了甲烷气体在３．３９μｍ波段吸收特性的研究结果，及其在３．３９μｍ波段多波长干涉测量中的应用。通过改变甲烷吸收室的充气参数，使激光器工作在双等光强工作点，并完成了绝对距离的干涉测量。     

微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展

微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统(MEMS)领域的研究热点。讨论了微悬臂梁谐振式气体传感器的工作原理,介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、主要方法和基于微悬臂梁的谐振式气体传感器领域的研究状况以及近五年以来该领域的研究进展,并对基于微悬臂梁的谐振式气体传感器的发展方向和应用前景做了展望。     

一种基于蓝牙技术的航天器无线数据网络方案

针对有线网络数据传输给航天器设计带来的不便,提出了一种基于蓝牙技术的航天器上无线数据网络方案,给出了具有容错能力的主备网络的设计架构,对BlueCore芯片完成了高低温循环和抗电子辐照环境试验,并就如何在太空环境中应用蓝牙技术给出了一些具体的分析.结论表明:BlueCore芯片可以工作在-70～100℃的温度环境,并可以耐受26krad(Si)的电子辐照,能够应用于太空环境,提出的数据与分析可以作为航天器总体设计和工程应用的参考.     

基于传感器多模式调度的智能目标跟踪算法

智能目标具有反跟踪的特性,其运动状态的改变与跟踪传感器的工作模式相关.为了实现对智能目标的有效跟踪,文中提出一种基于传感器多模式调度的交互多模型跟踪算法.首先,为智能目标构建混合多模型集,描述其与传感器模式相关的智能运动特性;其次,提出一种传感器多模式调度策略,综合考虑了一步预测的目标跟踪误差、二步预测的目标运动趋势误差以及传感器模式的辐射代价3方面因素,据此构建传感器多模式调度的目标函数;最后,将传感器多模式调度与交互多模型跟踪算法相结合,通过"模式调度→交互跟踪→模式调度"的闭环结构,提高了对智能目标跟踪的自适应性.仿真结果表明,与选择固定传感器模式的方法和基于近视策略的传感器模式调度方法相比,文中方法实现了对智能目标的持续精确跟踪.     

MEMS微推进技术的研究

空间推进器是卫星的姿态控制及轨道的修正、保持和机动的重要执行元件．随着小卫星、微卫星、纳卫星、皮卫星和星座及编队飞行技术的出现，对空间推进技术提出了更高的要求．在综述国内外微推进技术的基础上，着重介绍研制的微型数字式MEMS阵列推进器的总体结构设计、推进剂的选择与性能研究、推进阵列的MEMS加工和封装工艺研究等。