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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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朱儒学 《艺术与设计.数码设计》2019,(5)
龙的图形演变是一个非常漫长复杂的过程,文章中探讨的衔尾玉龙不仅有着龙形象还呈口衔尾端的蜷曲圆环状,这样的特殊造型,在历史的漫漫长河中,也有着明显的变化。但无论如何变化,衔尾玉龙都保持着头尾相连或近乎相接的蜷曲感,只是不同时期古人的审美心理有所不同,加上不同时期的历史文化内涵的差异,所以在衔尾玉龙的形制创造上,有了局部的演变。那么为什么古人会创造出衔尾龙形象?它的造型形制变化有何特点?文章在衔尾玉龙的造型演变中,探究古人的审美心理。 相似文献