催化反应对低磨料浓度化学机械平坦化的影响

通过低磨料浓度下催化反应对铜膜抛光速率的影响,证实了纳米SiO2胶体作为催化反应物可以极大地提高铜膜表面的化学反应速率。通过浸泡在不同磨料浓度抛光液中的铜电极表面腐蚀电位和腐蚀电流数值,进一步证实了催化反应能够加速凹处钝化膜的生成,并确定了在静态腐蚀条件下催化反应速率转换临界点所对应的纳米SiO2溶胶浓度为0.1vol%和1vol%。根据催化反应对铜晶圆各平坦化参数的影响,确定了低磨料CMP的最佳纳米SiO2溶胶浓度为0.3vol%,此时铜晶圆的抛光速率、台阶消除量、平坦化效率、碟形坑高度和腐蚀坑高度分别为535nm/min、299nm、56%、103nm和19nm。     

谈2013年汉语网络新词英译技巧

汉语的网络新词作为一种时尚语言,既承载了一定的社会内涵,同时又具有中国的文化特色,如何能让目的语读者在准确理解汉语网络新词意思的同时,最大化的领略到这些文化和社会内涵需要进行细致研究。本文以2013年网络流行新词为例,对汉语网络新词的翻译技巧进行探讨,以更好的促进中西方的文化交流。