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1.
薛钰芝 《半导体学报》2003,24(z1):65-69
用热蒸发和自然氧化法制备纳米量级Al/Al2O3多层膜.检测XPS光电子能谱和UPS谱线,得到Ei(k∥I)关系曲线,并发现薄膜具有负阻特性.  相似文献   
2.
Mo/Si多层膜界面离子束处理及TEM观察薛钰芝R.Schlatmann,林纪宁A.Keppel,J.Verhoeven(大连铁道学院,大连116022)(荷兰FOM原子分子物理研究所)软X射线多层膜(MultilayersforSoftX-rayO...  相似文献   
3.
用磁控溅射法制备Mo/Si多层膜(周期为25nm,20层)和Mo/B4C多层膜(周期为3.9nm,121层),并在真空中加热30min,温度为200,400,600,800和1000℃。用小角X射线衍射法和透射电镜研究不同温度下(保温0.5h)加热的样品。实验结果表明,当加热温度达600℃时,Mo/Si多层膜周期被破坏。而Mo/B4C多层膜在800℃加热温度下仍保持周期性层状结构。说明Mo/B4C多层膜不仅周期只有3.9nm,而且具有很好的热稳定性,可以作为较短波长的软X射线多层膜推广应用。  相似文献   
4.
用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的Cr/Cr2O3多层膜。采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分;用X射线衍射仪检测相结构。结果表明:制备的是纳米量级非晶态的Cr/Cr2O3多层膜,在常温和低温(77K)下均具有类似负阻的特性。  相似文献   
5.
纳米多层膜的电性能及表面形貌   总被引:1,自引:0,他引:1  
张发荣  薛钰芝  张力 《真空》2005,42(4):22-25
用热蒸发沉积和自然氧化法制备纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜和多层膜.本文采用三点法测定了常温、低温下的U—I特性,发现常温、低温下纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜具有类似负阻的特性。SEM检测表明,薄膜表面均匀,薄膜的厚度和称重法所得的厚度基本相符.AFM和STM观察表明薄膜表面存在着岛状结构,表面粗糙度在纳米尺度范围内。  相似文献   
6.
以Cu/In/S/Se单质混合粉体为原料,采用机械合金化的方法合成纳米晶CuIn(S0.5Se0.5)2粉体。研究磨球尺寸对Cu/In/S/Se粉体机械合金化自蔓延反应孕育期及合成产物的影响,分析不同磨球直径下Cu/In/S/Se机械合金化临界粉体的晶粒大小及晶格畸变。结果表明,随着磨球直径的增大,反应孕育期缩短,反应残留的In含量减小;不同磨球直径下Cu/In/S/Se机械合金化临界粉体中Cu/In/Se均为纳米晶;磨球直径增大,Se的晶格畸变增加,而In晶格畸变化不大,Cu可以在较短时间内获得更为精细的结构。  相似文献   
7.
OTS修饰的不同厚度酞菁铜OTFT的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
用十八烷基三氯硅烷(OTS)修饰了不同厚度的酞菁铜(CuPc)有机薄膜晶体管器件, 对比酞菁铜厚度为15、40、80 nm的3种器件性能后,得到40 nm的酞菁铜器件具有最高载流子迁移率.分析了OTS修饰的绝缘层表面对器件性能的影响,得到的40 nm厚度酞菁铜器件载流子迁移率为4.3×10-3cm2/V*s, 阈值电压为-9.5 V.  相似文献   
8.
本文用真空蒸发法在玻璃衬底上蒸镀Cu-In-Al多层膜,后采用真空硒化退火获得Al含量不同的Cu(In1-xAlx)Se2多晶薄膜.通过SEM和XRD微观形貌结构分析发现,薄膜中Al的含量对薄膜的表面形貌和结构有一定影响.Al/(In+Al)比例越大,越容易获得尺寸较小、分布比较均匀的晶粒.同时Al含量对薄膜的方阻有一定的影响,Al含量越高,方阻越大.而且Al含量的多少可以调节薄膜的禁带宽度的大小.  相似文献   
9.
高精度智能温控系统的实现   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了一种基于智能控制算法的温控系统的设计。该算法采用分段线性化定量求解控制量,实现了定性与定量相结合的智能控制方法。在此基础上再对控温参数进行分段,使控温在各温度区间都达到了高精度。该系统用铂电阻作为温度传感器,用计算机和可编程控制器实行控温,实现了由室温至250℃,控制精度达到±0 2℃。实验结果表明该系统控制精度高,无超调,稳定可靠,操作方便,其控制思想及方法是可行的。这种以空气为介质,小容量、小范围的温控系统适用于高分子、生物、制药等方面的研究。  相似文献   
10.
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