基于剥离工艺的晶圆材料表面形貌表征

压电晶圆表面形貌特征参数是影响光刻剥离工艺及器件批生产成品的关键技术基础。基于声表面波(SAW)器件剥离工艺,该文提出并量化了晶圆材料表面形貌表征参数体系:翘曲度(BOW)、平坦度(GBIR)、小区平坦度(SBIR)、小区平坦度合格率(PLTV)等,并给出了晶圆材料表面形貌表征参数的测试方法及对光刻工艺参数的影响。     

Thermal analysis of EAST neutral beam injectors for long-pulse beam operation

Two sets of neutral beam injectors(NBI-1 and NBI-2) have been mounted on the EAST tokamak since 2014. NBI-1 and NBI-2 are co-direction and counter-direction, respectively. As with indepth physics and engineering study of EAST, the ability of long pulse beam injection should be required in the NBI system. For NBIs, the most important and difficult thing that should be overcome is heat removal capacity of heat loaded components for long-pulse beam extraction. In this article, the thermal state of the components of EAST NBI is investigated using water flow calorimetry and thermocouple temperatures. Results show that(1) operation parameters have an obvious influence on the heat deposited on the inner components of the beamline,(2) a suitable operation parameter can decrease the heat loading effectively and obtain longer beam pulse length, and(3) under the cooling water pressure of 0.25 MPa, the predicted maximum beam pulse length will be up to 260 s with 50 keV beam energy by a duty factor of 0.5. The results present that, in this regard, the EAST NBI-1 system has the ability of long-pulse beam injection.     

EAST-NBI用差分式低温冷凝泵的设计

为了维持EAST-NBI内的真空环境以满足中性束生成与传输过程对真空压力分布的要求,设计了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵.本文概述了中性束注入加热的原理以及EAST-NBI真空系统的组成,详细阐述了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵的结构设计,抽速和冷凝面积的确定,液氦系统和液氮系统热负荷的计算等关键问题.该差分式低温冷凝泵通过在EAST-NBI综合测试台上进行大量实验验证,完全满足EAST-NBI对真空系统的要求.     

建筑屋顶设计探讨

随着科学技术的不断发展，现代建筑屋顶的设计与建造也不断与时俱进．人们不单单局限在基本功能的满足上．同时也需要很多艺术性的元素，让建筑更符合人性化。     

中小企业融资难的原因及完善途径

中小企业融资难是制约其发展的"瓶颈"问题。本文从融资难的现状入手,分析导致融资难的主要原因,并提出解决这一难题需要完善中小企业自身管理体制、金融机构创新体制机制和国家政策的扶持,以此来推动中小企业的发展。     

超临界条件下碱性添加物对TS-1催化丙烯环氧化反应的影响

 在超临界 CO₂(简称 scCO₂)反应介质中,TS-1催化丙烯环氧化制备环氧丙烷(PO)的 H₂O₂转化率,PO 选择性和 H₂O₂利用率要高于在传统甲醇介质中的,但是仍存在 H₂O₂分解和 PO 选择性较低等不足。系统研究了添加 NaOH、NaHCO₃、Urea 和(NH₄)₂CO₃碱性组分对 TS-1催化丙烯环氧化制备环氧丙烷反应的影响。结果表明,TS-1催化丙烯环氧化反应体系加入各种碱性组分均可不同程度地提高 PO 选择性,但加入 NaOH 和 NaHCO₃会使H₂O₂分解加剧,而加入 Urea 和(NH₄)₂CO₃则能缓解 H₂O₂分解,其中(NH₄)₂CO₃的效果最好;反应体系加入0.054 mmol 的(NH₄)₂CO₃后,H₂O₂转化率、PO 选择性和 H₂O₂利用率分别达到了97.0%、 96.8%和98.2%,从而解决了该反应在 scCO₂介质中存在的H₂O₂分解和 PO 选择性低的问题。     

纳米氧化石墨烯复合材料的制备及重金属废水处理研究

以改进的Hummers法制备了纳米氧化石墨烯(GO),以乙二胺四乙酸(EDTA)为改性剂，制备了功能化GO复合材料。通过XRD、SEM、FT-IR对功能化GO复合材料的晶格结构、微观形貌和官能团进行了表征，并以此作为吸附剂，测试了不同pH值、初始浓度、吸附时间等吸附环境对含Cd的重金属废水吸附性能的影响。结果表明，EDTA表面具有丰富的羟基、羧基等含氧基团，嫁接到GO表面后使GO表面的活性点位增多，Cd(Ⅱ)被功能化GO复合材料表面的活性点位所吸附后沉积在了原有的沟槽中，使复合材料的表面变得光滑。当pH=6时，功能化GO复合材料对含Cd重金属废水的吸附容量和去除率达到最大值，分别为45.8 mg/g和95.3%;在初始浓度为120 mg/L时，吸附容量和去除率达到了最大值，分别为66.5 mg/g和96.3%;在吸附时间为60 min时，可达饱和吸附，吸附容量和去除率达到最高值，分别为78.0 mg/g和98.5%。经过5次重复使用后，吸附容量可保持在23.8 mg/g,去除率保持在85.4%,具有优异的循环性能。     

酸热改性凹凸棒石粘土对低硫汽油的脱硫效果研究

通过浸渍法制备改性凹凸棒石粘土汽油脱硫剂.用浓硫酸对产自甘肃临泽的凹凸棒石粘土进行酸改性和热活化,以改性后的凹凸棒石粘土为吸附剂,达到了对汽油进行吸附脱硫的目的.采用正交试验考察制备脱硫剂和吸附脱硫的最佳工艺条件.根据正交试验分析得到确定最佳试验工艺路线为A3B3C2D2E3,即酸化凹凸棒石粘土的硫酸浓度为2mol/L、热改性温度为90℃、吸附时间60min.最佳吸附脱硫工艺为脱硫剂用量4g/40mL、吸附温度为40℃、吸附时间为60min.凹凸棒石粘土经过改性后脱硫率明显提升,硫含量的质量分数从280μg/g降到54.43μg/g,脱硫率达到80.56％.     

基于PDCA法则的搅拌站试验室质量管理体系

预拌混凝土搅拌站试验室作为企业的核心部门相对独立存在着,其技术质量管理水平直接体现了企业的服务水平。基于PDCA法则的试验室技术质量管理体系是实现对混凝土质量管理的重要手段,本文结合厦门天润锦龙建材有限公司试验室管理体系阐述了PDCA方法在试验室管理体系中的应用。     

基于CPN的联锁进路控制建模及验证

颜色集、层次化的概念使得有色Petri网(Colored Petri Nets,CPN)能够方便地对大型复杂系统进行形式化模型验证分析,铁路车站信号计算机联锁逻辑关系形式化验证方法的研究,对于减少联锁软件开发过程中的不确定性,提高联锁系统的安全性、可靠性,保障行车安全具有重要意义,联锁系统进路控制是联锁逻辑关系的重要内容,在分析联锁进路控制的基础上,采用CPN对联锁进路控制建立形式化分析模型,为车站信号计算机联锁逻辑关系形式化验证方法的研究提供一种联锁进路控制的形式化验证方法,同时通过CPN Tools对所建立的模型进行仿真分析及状态空间分析,结果表明模型能够正确描述联锁进路控制流程及联锁进路控制的功能逻辑,且状态空间分析结果与联锁进路控制逻辑完全相符。