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1
1.
湿法刻蚀提高硅刻蚀均匀性技术研究
祝福生
夏楠君
赵宝君
黄鑫亮
王文丽
《电子工业专用设备》
2019,48(5)
相似文献
2.
单晶圆擦洗技术及优化方案的研究
王文丽
黄鑫亮
夏楠君
祝福生
赵宝君
王勇威
《清洗世界》
2019,(6)
本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
相似文献
3.
晶片传输机械臂的设计及有限元分析
郭立刚
祝福生
黄鑫亮
王文丽
秦亚奇
王勇威
《清洗世界》
2019,35(7)
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1
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