单晶圆擦洗技术及优化方案的研究

本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。     

一种自动配液系统的研究

本文介绍了一种由PLC、触摸屏、配液隔膜泵、配液气控阀、流量测量计、化学配液管路以及气动控制系统构成的自动配液系统,详细描述该系统的使用原理和标定方法,并以一种叶轮式流量计为例,验证了系统的配液精度和可行性。     

超声波硅片清洗系统的研制

分析自动超声波硅片清洗机设备的整个系统组成和器件的选型及维护。     

湿法清洗中兆声波清洗工艺与应用

简述了兆声波清洗工艺的原理、特点,介绍其在清洗设备中的应用与前景。