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在公司批量生产HDI板最小线宽/间距为75μm/75μm能力的基础上制作了线宽/间距为50μm/50μm的精细线路,试验用LDI曝光机曝光后再用正交试验法的L9(3^4)正交表安排了显影速度、蚀刻速度、显影压力、蚀刻压力四因素试验,选取线宽和蚀刻因子作为指标。通过对两个指标的综合分析,试验得到最佳工艺参数为:显影速度为4.0m/min,显影上压力为0.18MPa,下压力为0.15MPa,蚀刻速度为4.5m/min,蚀刻上压力为O.28MPa,下压力为0.25MPa。 相似文献
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基于12通道垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列和12通道PD探测器阵列,设计制作了120 Gbit/s甚短距离的12通道并行光发送模块和12通道并行光接收模块.基于电磁场、传输线理论的信号完整性设计,减小了通道间串扰;利用过孔模型分析和阻抗设计,解决信号反射问题;且通过减小金丝直连长度等手段增加了通道带宽.光模块单通道传输速率不小于10Gbit/s,12通道并行总传输速率高达120 Gbit/s.并行光模块具有高速率、高集成度以及低成本等特点,为短距离高速率并行光传输系统提供具竞争力的解决方案. 相似文献
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