Ti基IrO2+Ta2O5涂层中氧化物附着量的XRF分析

对传统热解法制得的Ｔｉ基ＩｒＯ２＋Ｔａ２Ｏ５涂层进行了Ｘ射线普（ＥＤＸ）及Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）测试分析。结果表明,涂层中Ｃ１元素的含量随温度上升而降低,至５００℃后已降为较低数值（２％）,此温度下Ｉｒ组元几乎以ＩｒＯ２晶体相存在。Ｔｉ基金属的热重分析（ＴＧＡ）表明,５００℃下经４ｈ预氧化后,该基体金属已不再化增重。结合涂层ＥＤＷ、ＸＲＤ及Ｔｉ基ＴＧＡ测试结果,确定了Ｘ射线荧光分析（ＸＲＦ）用标准试