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在室温下,采用射频磁控溅射技术以较大的功率密度(7W/cm^2)沉积了一系列掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,探索了溅射压强对沉积速率及薄膜性能的影响。结果表明,当工作压强为2.OPa时,高速(67nm/min)沉积得到的薄膜的电阻率为2.63×10^-3Ω·cm,可见光平均透过率为83%,并且在薄膜表面有一定的织构。 相似文献
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针对传统大学物理教学存在的问题,对课堂教学模式进行了改革,并设计了量表对改革效果进行调查研究.结果表明更新的教学方法和教学手段使学生的学习兴趣与学习效果都显著提高. 相似文献
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