荷能团簇碰撞沉积装置中飞行时间质谱仪的物理设计

介绍了荷能团簇飞行时间质谱仪的原理及其在荷能团簇碰撞沉积装置中的物理设计。对实验中出现的若干问题进行了探讨,并提出了解决的措施。     

离子注入对超高分子聚乙烯磨损性能的影响

用８０ｋｅＶ不同剂量的Ｃ３Ｈ＾＋８,Ｎ＾＋２对超高分子聚乙烯样品进行离子注入,通过反冲探测分析表明注入层Ｈ含量的变化,对样品表面在离子注入前后的磨损性能进行了测试。实验结果显示,离子注入以后样品表面氢含量减少,磨损性能增强。     

团簇沉积C-N薄膜的研究

利用荷能团族沉积装置在高阻硅（111）衬底上沉积了碳氮薄膜。通过红外光谱、拉曼谱和X光电子能谱对薄膜的结构和化学组分进行了分析。结果表明,薄膜中存在N－sp^3(β－C3N4的键合方式）,但以N－^2C和C＝C双键的结合方式为主。     

三西甲、丙、丁平行线零序互阻抗(ZOm)实测分析

通过对三西甲、丙、丁三条平行线路零序互阻抗(Z0m)现场实测分析,得出三条平行线路(Z0m)测试方法,由于平行线路条数及地线条数增加对线路零序自阻抗(ZO)及互相抗(ZOm)产生的影响,故当平行线路条数增加时,其零序自阻抗(ZO)及零序互阻抗(Z0m)亦必须重测.     

壁挂式太阳能集热-供暖-储热系统设计

针对旧前太阳能系统因不能同时供暖和储热而造成的能量输入不连续问题,设计了一种将装有相变储热材料的储热装置和太阳能空气集热器相结合的壁挂式太阳能集热-供暖-储热系统.测试结果显示,系统的供暖效率可达36.3%,储热效率可达20.7%,供暖功率可达520 W,与对照房间相比,装有该系统的房间昼夜温度有明显的提高.     

碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响

在室温下，以硅（１００）为衬底，在不同的衬底偏压（即团族不同碰撞能量）的条件下，用荷能团簇碰撞沉积方法制备了ＴｉＮ薄膜。用原子力显微镜和Ｘ射线衍射等技术对ＴｉＮ薄膜的表面形貌和结构进行了研究，并且在维式硬度计和ＳＲＶ微动摩擦磨损试验机上对其摩擦学性能进行了考察。结果表明，在低的偏压情况下，团簇比较松散地堆积在衬底上；而在高偏压时团簇和衬底碰撞破碎，形成附着力强、致密性好及表面非常光滑的薄膜；在一定     

三西甲,丙,丁平行线零序互阻抗（Z0m）实测分析

通过对三西甲、丙、丁三条平行线路零序互阻抗现场实测分析，得出三条平行线路测试方法，由于平行线路条数及地线条数增加对线路零序自阻抗产生的影响，故当平行线路数增加时，其零序自阻抗及零序互阻抗亦必须重测。     

荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究

研究了不同能量的团簇碰撞有机物（CH3SiO3/2)衬底形成的表面形貌。结果表明,团簇能量的增大、增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力,也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现,是迁移力增加的有力证据。