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利用有限元法对感应加热的金属有机化学气相淀积(MOCVD)反应室的温度场进行了数值计算研究,研究发现,由于集肤效应,MOCVD反应室中传统的圆柱形基座中的温度分布不均匀,本文提出了一种∧形槽结构的基座,∧形槽改变了基座中的传热方式和速率,从而提高了被加热晶片温度分布的均匀性。通过对加热四英寸的基座优化发现,与传统的基座相比,优化后的基座,使晶片温度均匀性提高了85%,而且对这种优化的加热结构,在不同的温度下,晶片温度分布仍保持一定的均匀性,这有利于薄膜材料的生长。 相似文献
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By using the numerical simulation for the temperature field in the metal organic vapor deposition (MOCVD) reactor by induction heating, it is found that the temperature distribution in the conventional cylinder-shaped susceptor is nonuniform due to the skin effect of the induced current, which makes the temperature distribution of the wafer nonuniform. Therefore, a novel susceptor with a A-shaped slot is proposed. This slot changes the mode and the rate of the heat transfer in the susceptor, which improves the uniformity of the temperature distribution in the wafer. By using the finite element method (FEM), the susceptor with this structure for heating a wafer of four inches in diameter is optimized. It is observed that the optimized susceptor with the A-shaped slot makes the uniformity of the temperature distribution in the wafer improve by more than 85%, and a good uniformity of temperature distributions is kept under different wafer temperatures, which may be beneficial to the film growth. 相似文献
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本文采用热重分析(TGA)对华北地区常见的玉米秸秆的热解过程及其动力学规律进行了研究。实验中分别以三种不同的升温速率在氮气气氛下将样品从室温加热直至挥发分完全分解。实验结果表明:样品的非等温失重过程由脱水、剧烈失重和缓慢失重三个阶段组成;随升温速率的提高,样品的最大热解速度提高,对应的峰值温度提高,达到失重峰的时间缩短很多,表明加热速率越大挥发分析出的速度越快。建立了玉米秸秆的热解反应动力学方程,得出了玉米秸秆的热解反应动力学参数,并探讨了相应的热解机理。 相似文献
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用热重分析法对华北地区某秸秆电站2种主要燃料(小麦、玉米)的燃烧过程及其动力学规律的进行了实验研究。并分析了生物质直燃锅炉积灰结渣严重的原因。实验中以20℃/min的升温速率分别对小麦和玉米秸杆进行了空气气氛下的燃烧实验,得到了反映2种生物质秸秆燃烧过程的燃烧特征参数。结果表明,2种秸秆在不同的燃烧区间的燃烧动力学参数有较大差别。 相似文献
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介绍了运用蒙特卡罗方法分析三代微光像增强器分辨率的方法。该方法取一组随机数,来模拟像管中光电阴极受激发射的电子。综合考虑微通道板参数、第一近贴距、第二近贴距、阴极电压和荧光屏电压等影响,模拟追踪电子的运动轨迹。并根据像面上电子的落点分布来计算调制传递函数,从而确定像管的分辨率。经比较,此方法计算简单、运行快速,模拟结果与实验值的偏差不超过5%,理论模型满足实际需求,可为三代微光像增强器的设计提供参考。 相似文献
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本文从对养生保健的认识对大学生终身体育意识培养的作用进行了分析研究。指出终身体育是思想意识和行为倾向的有机结合,体育意识是终身体育的思想基础。体育意识的强烈程度,直接影响人们的终身体育意识的形成。 相似文献
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