In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的热力学分析

本文采用独立组元法对In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的平衡状态作了热力学计算和分析,所得结果对认识该体系外延生长的规律性及改进工艺条件有一定参考价值.     

纳米TiO2的制备,表征及光催化性能的研究

采用硬脂酸凝胶（SAG）法制备了TiO2纳米材料,用差热分析,热重分析,X射线衍射对合成过程进行了研究。用X射线光电子能谱（XPS）对其表面状态进行了分行。TiO2纳米材料对甲基橙溶液光催化降解结果表明：催化剂浓度、初始溶液pH值和金属离子对降解效率有较大影响。     

MOEMS光开关静电驱动的优化设计

给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构，提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构，给出了静电驱动等方面的分析结果。     

Temperature measurement based on radialization power for micro-hotplate

A novel method to measure the temperature on the surface of micro-hotplate was presented. The tiny fiber probe and the optical power meter were employed to measure the sample radialization power. By means of comparing the relationship between the radialization power and the temperature, sample surface temperature can be discerned accurately. Such an approach has provided more accuracy than traditional temperature measurements. The experimental result based on this method is quite similar to that of simulation by the finite element analysis （FEA） software of Ansys in theory. This measurement is very useful for measuring temperature for these micro samples prone to be untouchable.     

无机杂质对改善纳米BaTiO_3湿敏特性的作用

用硬酯酸盐法合成了纳米ＢａＴｉＯ３材料，它对湿度有良好的敏感性能。在纳米ＢａＴｉＯ３中掺入少量杂质，会影响其感湿性能。本文研究了掺杂方法、掺杂种类及掺杂浓度对纳米ＢａＴｉＯ３湿敏元件的电阻和湿滞的影响。混合掺入Ｎａ２ＣＯ３和ＮａＨ２ＰＯ４可以使纳米ＢａＴｉＯ３湿敏元件的电阻为１０６～１０３Ω，湿滞＜３％。     

纳米晶氧敏材料SrMgxTi1-xO3的制备与性能研究

应用硬脂酸法制备了纳米级晶粒大小的SrMgxTi1-xO3(x=0.1,0.2…0.5),采用DTA，TG，XRD，XPS等手段进行表征，结果表明，Mg部分取代了Ti进入了晶格中，生成了单一晶相的复合氧化物，掺杂了Mg之后的材料在所测量的氧浓度范围内，呈单一的P型导电特性，具有优良的敏性能，颗粒小，适应制成小型氧敏器件而获得实际应用。     

SiH_4-SiCl_4-H_2、SiH_4-HCl-H_2混合硅源CVD法生长硅晶体的热力学研究

本文从热力学角度,通过计算机计算,研究了SiH_4—SiCl_4—H_2及SiH_4—IICl—H_2混合硅源气相生长硅晶体体系的平衡状态。给出了不同配比的混合硅源沉积硅的产率和产率随温度、压力等控制参数变化的图解。根据准平衡理论计算了混合源体系中硅的沉积速率,计算结果与有关实验数据具有一致性。我们还进一步提出了一系列有关混合硅源生长硅晶体工艺的参考意见。     

纳米晶PLT薄膜的合成与表征

纳木材料的制备技术结合Ｓｏｌ－Ｇｅｌ工艺在（１００）单晶硅上制备了粒径在２０～８０ｎｍ的多晶ＰＬＴ（Ｐｂ＿（１－ｘ）Ｌａ＿ｘＴｉＯ＿３）纳采晶膜，并用ＩＲ、ＴＧＡ、ＸＲＤ、ＳＥＭ等对膜的制备过程及结果进行了研究。结果表明，所制各的ＰＬＴ纳米晶膜属多晶钙钦矿结构，薄膜表面平整致密，厚度均匀，约为１μ，颗粒为球形或椭球形，粒度呈对称分布。