低温p—Si薄膜的制备研究

引言 近年来,有源液晶显示技术在液晶显示产业和研究领域都独占鳌头。在有源液晶显示技术中,多晶硅薄膜因高迁移率展现出独特的优势,它的器件尺寸小,可以获得更高的开口率和分辨率;由于迁移率的提高可以将周边驱动集成于显示板内部,可以有效降低材料成本,同时LCD整体的重量和厚度将会大幅度的减少。     

纳米晶薄膜Li_xPb_(0.9-x)La_(0.1)TiO_3合成及离子电导特性

纳米晶薄膜LixPb0.9-xLa0.1TiO3（x=0，0．1，0．2，0．6）以普通玻璃为衬底通过溶胶—凝胶方法烧结制备而成。对LPLT薄膜进行DTA，XRD等测试手段分析。通过交流阻抗数据的分析，在室温下电导率高达2．3×10－3S·cm-1     

纳米晶氧敏材料SrMgxTi1-xO3的制备与性能研究

应用硬脂酸法制备了纳米级晶粒大小的SrMgxTi1-xO3(x=0.1,0.2…0.5),采用DTA，TG，XRD，XPS等手段进行表征，结果表明，Mg部分取代了Ti进入了晶格中，生成了单一晶相的复合氧化物，掺杂了Mg之后的材料在所测量的氧浓度范围内，呈单一的P型导电特性，具有优良的敏性能，颗粒小，适应制成小型氧敏器件而获得实际应用。     

一种季胺盐型高分子材料的合成和表征 及其湿敏特性的研究

在化工业、建筑业、造纸业、皮革业等许多领域,丙烯酸树脂是一个重要的角色~([1]),近来,我们发现用它可以作为高分子湿敏材料,它成膜性极好,对湿度有较敏感的响应,但其耐水性较差,我们通过改进湿敏元件的制作工艺,在载片上增涂一层保护膜,有效地克服了它在应用中的这一缺点.     

Ni诱导SiGe薄膜晶化烧结制备与热电势氢传感器件

在玻璃衬底上采用RF溅射法制备非晶SiGe薄膜的基础上，采用金属Ni诱导法对所制备的薄膜进行晶化烧结，并以Pt催化氢氧化放热反应和SiGe薄膜的热电势效应为原理制备出了小型热电势氢传感器。测试表明：以500℃烧结所得SiGe薄膜材料为敏感基体，在100℃工作温度下所制备的传感器对3％H2灵敏度为0．7mV，检测的浓度范围大约为0．02％-5％，且输出电压随着烧结温度的升高而升高。     

耐湿性、抗干扰性高分子电阻型湿敏元件制作工艺研究

采用一般工艺制作的湿敏元件在高湿环境中工作时，感湿膜易变形起皱，与基片脱附，大大限制了该类元件的应用范围。为此，我们改进了元件的制作工艺，通过增涂衬底膜和保护膜，基本上解决了上述问题，并且优化了元件的某些性能，延长了元件的寿命。     

低功耗微型CO_2传感器的研制

制作了一种新型微型结构CO2传感器,该传感器采用Al2O3陶瓷片作为衬底,sol-gel法制备的固体电解质NASICON(sodiumsuperionicconductor)材料为离子导电层,复合碳酸盐Li2CO3-BaCO3(摩尔比为1:1.5)为敏感电极。该传感器在CO2浓度为(500~5000)×10–6体积分数范围内表现出良好的敏感特性,灵敏度达到67.3mV/decade(毫伏/10×10–6体积分数),并且功耗由原来的1.08W降到0.72W。微型元件的响应恢复时间分别为20s和58s。     

Nasicon材料的制备及气敏特性研究

采用高温固相烧结方法,制备了Ｎａｓｉｃｏｎ固体电解质材料,并用ＩＲ、ＸＲＤ等手段对材料的组成和物相结构进行了表征。在材料电阻率随温度变化的测试结果基础上,进上步以所合成的Ｎａｓｉｃｏｎ材料作离子导体、ＢａＣＯ３－Ｌｉ２ＣＯ３复合盐作第三电极材料制成ＣＯ２传感器,考察了材料的气敏性能。结果表明材料对ＣＯ２具有良好的气敏特性及抗水蒸汽干扰性能。     

溶胶-凝胶法合成NASICON快离子导体材料

采用以无机盐为基础的新型溶胶－凝胶法合成了NASICON快离子导体材料，在其它原料相同的情况下，分别采用硝酸和草酸作为回溶剂和原溶液酸度调节剂合成了NASICON材料，利用XRD等分析测试手段对合成产物进行了对比研究，对两种酸在反应温度和相结构的影响情况进行了讨论。     

石英振子式湿敏元件的研制

在气湿敏感技术领域中,自从W.H.King开创石英振子湿敏元件先河以来,经人们努力开拓,它在气湿敏感技术领域中已显示出广阔的应用前景.显然,由于它的工