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相似文献
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1.
杨遇春 《半导体光电》1998,19(1):5-8,15
非晶硅(a-Si)薄膜太阳能电池是取之不尽的洁净能源-太阳能的光电元(组)件。文章详述了a-Si薄膜太阳能电池的工艺优势,市场开发状况,可能应用领域,存在问题和展望。  相似文献   

2.
薄膜太阳电池的最新进展   总被引:6,自引:1,他引:5  
介绍了薄膜太阳电池在光伏技术中的地位,概述了包括多晶硅、非晶硅、CdTe、CuIn1-xGaxSe2(CIGS)在内的薄膜太阳电池的发展状况.多晶硅,非晶硅太阳电池的生产技术成熟,商业化程度高,是目前太阳电池开发与应用的重点,随着技术和工艺水平的提高,CdTe和CIGS等新型太阳电池商业化必将带来能源领域的新变革.文章同时还给出了这些太阳电池的未来研究方向.  相似文献   

3.
一种能有效抑制背光照影响的非晶硅薄膜晶体管   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出了一种能有效抑制背光照影响的非晶硅薄膜晶体管结构。详细地分析了源、漏电极接触区和沟通区内载流子的输运特性。论述了在背光照射下,这种结构的TFT能有铲抑制关态电流上升的机理。研究了有源层a-Si:H膜层厚度对TFT关态电流和开态电流的影响。检测辽种结构TFT在暗态和背照射下的静态特性。  相似文献   

4.
微波退火非晶硅薄膜低温晶化研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
多晶硅薄膜晶体管以及其独特的优点在液晶显示领域中起着重要的作用。为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器,低温制备(<600℃高质量多晶硅薄膜已成为研究热点。文章研究了一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺;微波退火非晶硅薄膜固相晶化法,利用X射线衍射、拉曼光谱和扫描电镜分析了微波退火工艺对非晶硅薄膜固相晶化的影响,成功实现了低温制备多晶硅薄膜。  相似文献   

5.
本文研究了在磁场作用下a—Si:H薄膜的红外光谱的变化,发现了2000cm~(-1)硅氢振动模向2100cm~(-1)硅氢振动模的直接转变,并且在这种变化中键合氢的含量不变。提出了Si—H……Si弱耦合模型。  相似文献   

6.
应用PECVD工艺,研究了四层结构(电荷阻挡层、电荷输运层、光敏层、保护层)的非晶硅感光鼓。在充电电压为5000V,照度10lx下,带电电位可达650V。  相似文献   

7.
金属Ni诱导非晶硅薄膜晶化研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
采用金属镍诱导晶化非晶硅薄膜的方法制备多晶硅薄膜,研究了不同退火温度和退火时间对晶化效果的影响,使用SEM、EDS和XRD分析了薄膜的晶化效果。实验发现,非晶硅薄膜在460℃以下退火不能晶化,在460℃退火30min已全部晶化;随着退火温度升高或退火时间延长,晶化效果变好;退火2h之后晶体生长近乎饱和。  相似文献   

8.
纵观世界光伏领域,各种技术百花齐放,各个厂家百家争鸣。薄膜技术与晶硅技术是目前两个最具代表性的技术,二者相辅相成共同承担了目前光伏发电的历史使命。其中薄膜太阳能技术本身发展已经有二十多年的历史,并不算是新兴的技术,自1992在美国加州建成世界上第一座290KWp的非晶硅电站以来,非晶硅薄膜技术一直在稳定可靠的为世界提供清洁能源。普乐新能源以改善世界环境为己任,努力为人类社会与环境的和谐发展做出自己应有的贡献。——普乐新能源有限公司总经理孙嵩泉博士  相似文献   

9.
10.
掺过渡金属钴的非晶硅薄膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
陈光华  张津燕 《电子学报》1991,19(5):111-113
本文报道用电子束蒸发法将过渡金属Co掺入a-Si薄膜,用电导率与温度的依赖关系,ESR紫外透射谱测量手段对a-Si:Co薄膜的电学、光学特性,杂质对缺陷态的补偿和掺杂机理进行了研究。测量结果表明,Co杂质能级的中心位置在价带E_v以上0.13eV.在480K相似文献   

11.
用硅烷的辉光放电分解伴随着锂蒸发来制备掺锂的非晶硅薄膜.测量了薄膜的直流电导率与温度以及与所加的测试电压的关系.发现在温度范围为350~500K和高场强(高于10~3V/cm)情况下掺锂薄膜存在离子电导现象.  相似文献   

12.
本文对用电子束蒸发法制备的a-Si:Co薄膜的ESR和光学特性进行了研究.对样品的ESR信号、光学带隙和室温电导率随杂质浓度的变化关系进行了测量.结果表明,Co原子在a-Si:Co薄膜中形成受主中心,并伴随着对悬挂键的补偿;当杂质浓度小于3%时,光学带隙、自旋态密度和峰峰宽度基本不变,当杂质浓度大于3%时,随着Co含量的增加,光学带隙、自旋态密度减小,室温电导率和峰峰宽增大.本文对上述结果进行了分析和讨论.  相似文献   

13.
14.
α—Si:H薄膜显微形貌的图象处理   总被引:2,自引:0,他引:2  
  相似文献   

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17.
<正> 太阳能是最洁净的能源,它无任何污染和公害,并且取之不尽,用之不竭,有着十分广阔的应用领域。它的开发和应用为人们的生活带来了很大方便。 工作原理 非晶硅太阳能电池是一种新型的太阳能电池。它是可把光能直接转换成电能的半导体器件,具有以下特点:(1)  相似文献   

18.
多晶硅薄膜比非晶硅薄膜具有更高的电子迁移率,在器件中表现出更优良的性能,脉冲激光结晶非晶硅薄膜制备多晶硅薄膜的方法具有热积存小、对衬底影响小、成本低等优点。使用532 nm固体纳秒激光器进行了非晶硅薄膜激光结晶实验,为了解决直接使用高斯光束结晶时因光斑能量分布带来的结晶效果不均匀,首先基于光束整型系统将圆形的高斯光束整型成为线性平顶光束,而后研究单脉冲能量密度、脉冲个数、非晶硅薄膜厚度对结晶效果的影响。结果表明,线性平顶光束用于非晶硅薄膜结晶具有更好的均匀性,对于100 nm非晶硅薄膜,随着能量密度的增加,晶粒逐渐变大,直到表面出现热损伤,最大晶粒尺寸约为1 μm×500 nm。随着脉冲个数的增加,表面粗糙度有减小的趋势,观察到的最小粗糙度约为2.38 nm。对于20 nm超薄非晶硅薄膜,只有当能量密度位于134 mJ/cm2和167 mJ/cm2之间、脉冲个数大于或等于八个时才能观察到明显的结晶效果。  相似文献   

19.
采用电容结构研究了氟(F,Flourine)掺杂非晶薄膜漏电、击穿以及温度特性。结果表明,氟掺杂钝化了非晶膜中的缺陷和悬挂键,使非晶薄膜漏电降低两个数量级,同时使击穿电压升高。掺杂非晶薄膜的漏电与温度呈指数增长,增长系数为0.0375 K^-1,击穿电压随温度线性减小,系数为0.012 V·K^-1。  相似文献   

20.
温度对非晶硅薄膜二次晶化的影响   总被引:4,自引:0,他引:4  
为研究温度对固相晶化的影响,用玻璃作衬底,在不同温度下用PECVD法直接沉积非晶硅(a-Si:H)薄膜,把在室温、350℃和450℃下沉积的样品,在600℃和850℃下退火3h,把前后样品用拉曼光谱和扫描电镜分析,发现二次晶化后的晶化效果比直接沉积的薄膜好,850℃下退火的薄膜比600℃好。在450℃下沉积、850℃退火3h,SEM观察,表面最大晶粒尺寸为900nm左右。  相似文献   

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