微机械及其相关技术

本文介绍了八十年代后期崛起的微机械技术发展动向概况,提出了从机电一体化角度考虑的微机械的定义,并从微机械的应用技术角度出发,归纳了发展微机械的几个主要相关技术:微机械的机构与结构设计、微马达和微传动、微传感器、微控制——智能系统、微电池电源以及材料与三维蚀刻工艺。最后对我国发展微机械技术提出三点建议。     

机械微钻削技术的研究现状

随着工业产品的需求不断向微型化、小型化、精密化方向发展,对微制造技术提出了挑战。与传统MEMS等微制造技术相比,微细机械加工方法在制造高精度、形状复杂的微小零件时具有独特优势。机械微钻削技术是微细机械加工方法的重要组成,广泛用于各种工业领域。受刀具尺度的影响,需要对微钻削技术进行一些列理论和技术的研究。因此从微钻头几何形状、微钻刃磨、微钻削机理、微钻削润滑、微钻涂层技术几个方面系统地介绍了机械微钻削技术研究现状,为该技术的深入研究提供参考。     

激光微钻孔技术综述

激光微钻孔技术作为激光加工技术的重要分支,目前已广泛应用于各个生产领域.从激光加工技术的优点和激光微钻孔技术的原理、发展、应用4个方面介绍和归纳了目前国内外对激光微钻孔加工技术的应用和主流研究方向.总结归纳激光加工技术的优点,阐述了激光微钻孔技术在行业内的应用以及其巨大的市场前景.对激光微钻孔工艺的发展历程进行调研,总结归纳了激光微钻孔技术的特点以及各个阶段激光微钻孔工艺的改良优化历史,以及相关工艺参数指标的突破.最后介绍了激光微钻孔工艺的技术原理和常见的激光微钻孔工艺的实现方式,介绍了激光微钻孔工艺在航空工程、PCB加工和生物医疗行业的应用.为激光微钻孔技术的推广应用提供技术支撑.     

激光微钻孔技术综述

激光微钻孔技术作为激光加工技术的重要分支,目前已广泛应用于各个生产领域.从激光加工技术的优点和激光微钻孔技术的原理、发展、应用4个方面介绍和归纳了目前国内外对激光微钻孔加工技术的应用和主流研究方向.总结归纳激光加工技术的优点,阐述了激光微钻孔技术在行业内的应用以及其巨大的市场前景.对激光微钻孔工艺的发展历程进行调研,总结归纳了激光微钻孔技术的特点以及各个阶段激光微钻孔工艺的改良优化历史,以及相关工艺参数指标的突破.最后介绍了激光微钻孔工艺的技术原理和常见的激光微钻孔工艺的实现方式,介绍了激光微钻孔工艺在航空工程、PCB加工和生物医疗行业的应用.为激光微钻孔技术的推广应用提供技术支撑.     

激光微钻孔技术综述

激光微钻孔技术作为激光加工技术的重要分支,目前已广泛应用于各个生产领域.从激光加工技术的优点和激光微钻孔技术的原理、发展、应用4个方面介绍和归纳了目前国内外对激光微钻孔加工技术的应用和主流研究方向.总结归纳激光加工技术的优点,阐述了激光微钻孔技术在行业内的应用以及其巨大的市场前景.对激光微钻孔工艺的发展历程进行调研,总结归纳了激光微钻孔技术的特点以及各个阶段激光微钻孔工艺的改良优化历史,以及相关工艺参数指标的突破.最后介绍了激光微钻孔工艺的技术原理和常见的激光微钻孔工艺的实现方式,介绍了激光微钻孔工艺在航空工程、PCB加工和生物医疗行业的应用.为激光微钻孔技术的推广应用提供技术支撑.     

微装配技术的发展现状及关键技术

微机械电子技术的快速发展及其系统结构的日趋复杂,促进了微机电系统中微装配技术的日益蓬勃发展.因此对微装配和微操作的研究日益引起国内外研究人员的重视.详细地综述了近年来微装配技术的国内外发展现状以及其发展过程中面临的一些关键技术,包括微装配机理、显微视觉技术、微夹持器、微驱动技术等,最后对微装配的发展进行了展望.     

激光微成形技术的研究及应用

激光微成形作为一种柔性精密加工技术已经成为微塑性成形领域的研究热点,其成形的材料广和效果高,能在一定程度上克服传统微塑性成形中的尺寸效应.分别阐述了激光微弯曲成形、激光微冲击成形和激光辅助加热微成形等几种典型的微成形技术,分析了各自的加工机理及技术特点,讨论影响成形精度的主要因素,介绍了国内外激光微成形技术在精密成形和精确校形方面的应用研究进展,最后展望了激光微成形技术的发展前景.     

微夹钳研究的进展与展望

微夹钳技术是微机械技术的重要内容之一.本文首先论述了微夹钳的应用背景,回顾了微夹钳技术研究的历史及现状;对目前国内外所研究的微夹钳进行了分类,并对其结构工艺与工作原理进行了分析;最后,对微夹钳技术的发展进行了展望.     

微纳制造技术应用研讨会征文通知

在科学技术飞速发展的今天 ,特别是被称为 2 1世纪核心技术的信息技术、生物技术和微纳技术的迅猛发展 ,使各学科之间正呈现出高度的相互交叉和综合。无论是微电子技术、光电子技术、纳米技术、微机电制造技术等革命性的推动 ,还是微传感器、纳米材料、生物芯片等应用性的拉动 ,都给制造带来了前所未有的发展与创造空间 ,尤其是近年来 ,包括MEMS技术、微系统和纳米技术的微纳米技术的研究和应用方兴未艾 ,微机械学成为机械学科不可分割的组成部分 ,机械工程的研究领域已迅速扩展到微动力学、微结构学、微运动学、微摩擦学、微流体力学等 ;…     

微机电系统测试技术及方法

微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。     

微机电系统的研究与展望

微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统.MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术.文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了M...     

虚拟现实技术在微机电系统中的应用

根据VRT的内涵、主要特征和相关技术,按照MEMS的特,最和发展目标,研究MEMS对VRT技术的需求及其应用,研究VR技术与MEMS的交叉融合及互动发展,提出将VR技术应用于MEMS的研究、设计、教学、培训;提出将MEMS应用于VR系统中。     

微机电系统静动态测试技术研究

在中国国家863高技术发展计划MEMS重大专项课题《MEMS动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统》资助下，研发微机电系统(Micro Electro Mechanical System , MEMS)动态特性三维测量技术与系统。对已有的微几何量、微材料力学性能和MEMS动态参数测试方法进行研讨。 几何尺寸和表面形貌轮廓的测量是MEMS测量的基础。二维微几何量检测采用普通光学显微镜和扫描电子显微镜。表面形貌测量大致可分为接触式测量和非接触式测量，机械触针式轮廓仪是典型的接触式测量仪器，非接触式测量大多采用光学技术，主要有光针式轮廓仪，采用光切、干涉、投影光栅和微视觉等测量方法。     

微型机电系统的计算机辅助设计系统简介

虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于ＭＥＭＳ器件的三维特性,使它与ＩＣ的制造有很大不同。而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来一较大难度。为加快ＭＥＭＳ的设计过程,需要有相应的计算机辅助设计系统（ＭＥＭＳＣＡＤ）。文中介绍了ＭＥＭＳＣＡＤ的系统结构及国外的发展现状。     

Demonstration of robust micromachined jet technology and its application to realistic flow control problems

This paper describes the demonstration of successful fabrication and initial characterization of micromachined pressure sensors and micromachined jets (microjets) fabricated for use in macro flow control and other applications. In this work, the microfabrication technology was investigated to create a micromachined fluidic control system with a goal of application in practical fluids problems, such as UAV (Unmanned Aerial Vehicle) -scale aerodynamic control. Approaches of this work include: (1) the development of suitable micromachined synthetic jets (microjets) as actuators, which obviate the need to physically extend micromachined structures into an external flow; and (2) a non-silicon alternative micromachining fabrication technology based on metallic substrates and lamination (in addition to traditional MEMS technologies) which will allow the realization of larger scale, more robust structures and larger array active areas for fluidic systems. As an initial study, an array of MEMS pressure sensors and an array of MEMS modulators for orifice-based control of microjets have been fabricated, and characterized. Both pressure sensors and modulators have been built using stainless steel as a substrate and a combination of lamination and traditional micromachining processes as fabrication technologies.     

微细加工技术与应用

微细加工技术是现代机电领域新兴学科微机电系统（MEMS）研究的关键技术之一。分析了近年来微机械领域的主要微细加工方法、能达到的加工尺度与水平、加工范畴及应用;阐述了微细加工技术的发展趋势。     

微机械系统建模与仿真技术研究

简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技术难题,即尺度效应、开发快速的表面力计算方法、多物理场耦合分析、宏模型的建立,为微电子机械系统的建模仿真指明了研究方向.详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键,多物理场耦合计算的理论方法和器件及系统宏观模型的建立,介绍了用于MEMS系统级模拟仿真的宏模型建立的几种方法,最后结合硬件描述语言VHDL-AMS提出了建立微电子机械系统模型实现系统级模拟的方法.     

微细加工技术研究进展

微细加工技术是随着微机电系统(MEMS)技术的发展而被广泛接受的一种在微小尺度内实现功能、信息集成化的生产加工技术。文中阐述近年来国内外微细加工的发展动向及开发的一些新加工技术,详细介绍了基于超精密加工、硅微加工、LIGA加工、原子力显微镜加工及微/纳压印加工技术等微细加工技术,探讨了各种加工技术的优越性、适用性及可靠性并提出展望。     

MEMS可靠性与失效分析

主要探讨目前微电子机械系统（micro-electro-mechanicalsystem,MEMS）中采用的分别以费用和以失效分析,质量保证为主的两种可靠性分析方法,并介绍其他相关的分析方法;对国内外广泛运用的众多失效分析基本单元结构进行详细分析;叙述MEMS中各种不同的失效模式、失效机理、失效分析应用范围及采取的相应措施;并就MEMS可能出现的失效模式提出相关的微分析技术,为MEMS提供可靠性保障。有利于MEMS的可靠性设计。