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陈宏圣 《机电产品开发与创新》2008,21(5):191-192
伴随着微机械和微机电系统的发展,微细加工技术已经成为一门多学科交叉的制造系统工程和综合高新技术,本文分析了微细加工的技术原理,指出了微细加工的应用和最新的发展及应用情况。 相似文献
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微细磨削技术及微磨床设备研究现状分析与探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
采用微磨床及微磨具的微细磨削技术,可以实现多种材料复杂形状三维微小零件的加工,且设备体积小、能耗少、成本低,已受到国内外研究人员的广泛关注。但是目前微细磨削技术的研究还处于起步阶段,在微细磨削机理、微磨床及微磨具等方面存在大量问题需要解决。因此非常有必要深入分析微细磨削技术的研究现状、存在的问题及发展趋势。明确了微细磨削技术的内容范畴;全面总结了微细磨削机理及工艺、微磨床及其关键部件、微磨棒等方面的研究现状;在此基础上,深入探讨了微细磨削技术在磨削机理及工艺、微磨床和微磨棒等方面存在的基础性问题,并进一步指出微细磨削技术还应关注其向多种材料应用、复合化加工、高效高精及智能化柔性化的发展方向,以期促进微细磨削技术在我国的推广应用,提升我国超精密微小零件的加工制造水平。 相似文献
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微细加工技术是现代机电领域新兴学科微机电系统(MEMS)研究的关键技术之一。分析了近年来微机械领域的主要微细加工方法、能达到的加工尺度与水平、加工范畴及应用;阐述了微细加工技术的发展趋势。 相似文献
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微细加工技术在国内外发展趋势的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了国内外微细加工技术的发展状况,基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在低电位、微电流密度下电化学钝化效应基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工,这是微细加工技术的新构想及发展趋势. 相似文献
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微细电火花加工及其关键技术 总被引:3,自引:0,他引:3
综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展。比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用。简要分析了微细电火花加工的关键技术:微细电极的在线制作、微进给装置、微小能量的脉冲电源、微小电极的运动轨迹规划、电极的损耗及补偿策略。展望了微细电火花加工在微三维结构加工中的应用前景。 相似文献
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电解加工在微细制造技术中的应用研究 总被引:3,自引:0,他引:3
电解加工是利用阳极金属电化学溶解原理来去除材料的制造技术,这种微去除方式使得电解具有微细加工的可能,这里着重探讨了高频窄脉冲微细电解加工技术、电液束微细电解加工技术和利用电解制备微细电极的工作原理,技术特点,应用领域和加工精度,并详细的讨论了目前微细电解加工脉冲电源和加工设备的研制和发展。 相似文献
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Sung PB Chang 《Journal of Mechanical Science and Technology》2006,20(4):554-560
This paper describes the demonstration of successful fabrication and initial characterization of micromachined pressure sensors
and micromachined jets (microjets) fabricated for use in macro flow control and other applications. In this work, the microfabrication
technology was investigated to create a micromachined fluidic control system with a goal of application in practical fluids
problems, such as UAV (Unmanned Aerial Vehicle) -scale aerodynamic control. Approaches of this work include: (1) the development
of suitable micromachined synthetic jets (microjets) as actuators, which obviate the need to physically extend micromachined
structures into an external flow; and (2) a non-silicon alternative micromachining fabrication technology based on metallic
substrates and lamination (in addition to traditional MEMS technologies) which will allow the realization of larger scale,
more robust structures and larger array active areas for fluidic systems. As an initial study, an array of MEMS pressure sensors
and an array of MEMS modulators for orifice-based control of microjets have been fabricated, and characterized. Both pressure
sensors and modulators have been built using stainless steel as a substrate and a combination of lamination and traditional
micromachining processes as fabrication technologies. 相似文献
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微型机电系统的计算机辅助设计系统简介 总被引:3,自引:0,他引:3
虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于MEMS器件的三维特性,使它与IC的制造有很大不同。而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来一较大难度。为加快MEMS的设计过程,需要有相应的计算机辅助设计系统(MEMSCAD)。文中介绍了MEMSCAD的系统结构及国外的发展现状。 相似文献
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微机电系统测试技术及方法 总被引:5,自引:7,他引:5
微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。 相似文献
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多晶硅表面微机械光学角速率传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
多晶硅表面微机械技术是微机电系统(Microeletromechanical Systems,MEMS)中重要的加工技术。本文采用这种加工技术,提出了一种基于Sagnac效应的新型微机械学光角速率传感器(Optical Rotation Sensor,(ORS)。由于采用MEMS的最新技术,安将是一种低成本、微型化的ORS,文中给出了ORS中环形谐振腔的设计和基本理论分析,并提出了电路和控制系统的 相似文献
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Friction and wear are major limiting factors for the development and commercial implementation of devices fabricated by surface micromachining techniques. These tribological properties are studied using a polycrystalline silicon nanotractor device, which provides abundant, quantitative information about friction and wear at an actual microelectromechanical system (MEMS) interface. This in situ approach to measuring tribological properties of MEMS, combined with high-resolution atomic force microscope (AFM) images of wear tracks, provides insight into the effects of different MEMS surface processing on wear. In particular, monolayer coatings have a significant positive effect, while surface texturing does not strongly affect performance. 相似文献
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微机械系统建模与仿真技术研究 总被引:5,自引:2,他引:5
简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技术难题,即尺度效应、开发快速的表面力计算方法、多物理场耦合分析、宏模型的建立,为微电子机械系统的建模仿真指明了研究方向.详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键,多物理场耦合计算的理论方法和器件及系统宏观模型的建立,介绍了用于MEMS系统级模拟仿真的宏模型建立的几种方法,最后结合硬件描述语言VHDL-AMS提出了建立微电子机械系统模型实现系统级模拟的方法. 相似文献