极紫外与软X射线非周期多层膜优化设计及初步研制

以周期膜理论为基础 ,改进了已有的设计方法 ,通过采用随机数的方法 ,发展了一种普适的多层膜设计方法 ,这种方法除可设计一般的周期多层膜 ,更重要的是它可以根据选定评价因子 ,设计不同要求的非周期多层膜。根据实际要求 ,完成了积分反射率最大多层膜、宽带平坦型多层膜、校正光源发射不均匀性多层膜和选波长多层膜等。这些多层膜各有特点 ,可满足不同应用的要求。用磁控溅射方法对一种宽带多层膜进行了制备。最后的 X射线衍射测量和反射率的相对测试表明 ,与周期膜系相比 ,非周期多层膜的带宽展宽 ,反射率积分值增加 ,但峰值反射率略有降低。     

极紫外与软X射线非周期多层膜优化设计及初步研制

以周期膜理论为基础,改进了已有的设计方法,通过采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定评价因子,设计不同要求的非周期多层膜.根据实际要求,完成了积分反射率最大多层膜、宽带平坦型多层膜、校正光源发射不均匀性多层膜和选波长多层膜等.这些多层膜各有特点,可满足不同应用的要求.用磁控溅射方法对一种宽带多层膜进行了制备.最后的X射线衍射测量和反射率的相对测试表明,与周期膜系相比,非周期多层膜的带宽展宽,反射率积分值增加,但峰值反射率略有降低.     

极紫外与软X射线非周期多层膜优化设计及初步研制

以周期膜理论为基础,改进了已有的设计方法,通过采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定评价因子,设计不同要求的非周期多层膜.根据实际要求,完成了积分反射率最大多层膜、宽带平坦型多层膜、校正光源发射不均匀性多层膜和选波长多层膜等.这些多层膜各有特点,可满足不同应用的要求.用磁控溅射方法对一种宽带多层膜进行了制备.最后的X射线衍射测量和反射率的相对测试表明,与周期膜系相比,非周期多层膜的带宽展宽,反射率积分值增加,但峰值反射率略有降低.     

类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制

设计并制备了工作波长为4.48 nm类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜。选择C r/C、C r/Sc为多层膜材料对,模拟了多层膜非理想界面对多层膜反射率的影响。采用直流磁控溅射技术在超光滑硅基片上制备了C r/C、C r/Sc多层膜。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国Bessy II同步辐射上测量了多层膜的反射率,C r/C,C r/Sc多层膜峰值反射率分别为7.50%,6.12%。     

极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件

研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13~19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15％;在15~17 nm波段,获得了37％的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13.8~15.5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41.7°。采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分析系统,并对BESSY-II的UE56/1 PGM1光束线的偏振特性进行了系统研究。这种宽带多层膜偏振光学元件可以极大地简化极紫外偏振测量。     

13.9nm和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜反射率的测量

根据理论模拟计算并设计了分别工作在13.9nm类镍银和19.6nm类氖锗两种X射线激光的Mo/Si多层膜,将自行设计的小型反射率计安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,组成以铜靶激光等离子体辐射源作为极紫外光源的反射率测量装置,对研制的Mo/Si多层膜反射镜的反射率进行了测量。实验结果显示,中心波长分别是13.91nm和19.60nm,相应反射率分别是41.9%和22.6%,半宽度分别是0.56nm和1.70nm,中心波长和半宽度与理论值基本一致。为了全面了解多层膜的性能,用WYKO测量多层膜的表面粗糙度,13.9nm和19.6nmMo/Si多层膜的表面粗糙度分别是0.52nm和0.55nm。     

13．9和19．6nm正入射Mo／Si多层膜反射镜的反射率测量

为了进一步研究13.9nm类镍银和19.6nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜.设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率.测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08nm,光源信号抖动范围＜5%,光源稳定性好.反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60nm的Mo/Si多层膜反射镜.相应反射率分别为41.9%和22.6%,半宽度为0.56和1.70nm.同时还用WYKO测量得到13.9和19.6nmMo/Si多层膜的表面粗糙度分别为0.52和0.55nm.     

共溅射制备WxSi1-x/Si多层膜应力的实验研究

采用直流磁控溅射技术制备了周期厚度为27.5nm的W/Si多层膜,使用实时应力测量装置对其应力特性进行了研究。为降低膜层应力,采用W、Si共溅射技术制备WxSi1-x膜层替换W膜层,制备出WxSi1-x/Si多层膜,与W/Si多层膜的应力特性进行了比较研究。结果表明,W/Si多层膜为较大的压应力,测量值为-476.86 MPa,WxSi1-x/Si周期多层膜为较小的压应力,测量值为-102.84MPa。因此采用共溅射制备WxSi1-x代替W可以显著改善多层膜的应力特性。     

利用广角衍射仪对软X射线超薄膜的测量

利用X射线衍射,是目前国际上对超薄多层膜进行检测常用的方法之一,但只局限于双晶或小角衍射仪。本文利用的方法解决了广角衍射仪在低角区测量时由于样品放置误差所造成的衍射峰偏移和得不到衍射曲线的问题,从而使广角衍射仪得以应用在小角区测量。文中重点对测量曲线进行了分析,准确计算了多层膜的周期和单层膜厚度,并与测量值进行了比较,结果表明利用广角衍射仪测量膜厚是切实可行的。在目前我国X射线波段反射率测量装置还没有完善的条件下,利用X射线衍射仪对超薄膜的检测更显得格外重要。     

层间扩散对多层膜镜单色器性能的影响

结合新近发展的多层膜极化超镜涂层材料CoFe／TiZr,采用中子反射实验测量数据,以矩阵方法为基础,对有无考虑层间扩散、表层氧化两种情况进行了进行了理论计算。采用超镜实际结构设计方法（Real Structure Design,RSD）,运用双势函数处理模型,考虑表层氧化,获得了新型超镜涂层材料CoFe／TiZr镀制多层膜镜单色器的工艺要求以及有效中子损失情况。计算结果可为采用CoFe／TiZr作为涂层材料镀制多层膜镜单色器或者多层膜镜单色器的制备及理论设计优化工作提供有价值的参考。     

Dynamic analysis of a rotating beam subjected to repeating axial and transverse forces for simulating a lathing process

The dynamics of the workpiece of a lathe is simulated in the presented paper. A rotating Rayleigh beam is chosen as a simple model of the workpiece. The beam or the workpiece is subjected to forces from the cutting tool of the lathe. The external forces, in transverse and axial directions, are traveling in a repeating or periodic motion. The force in the axial direction is a large cutting force resulting in coupled bending deformation while forces in the transverse directions are the contacting forces.In this paper, the governing equations of the rotating Rayleigh beam are derived by Hamilton's principle. The external, periodic forces resulted from the tool are expressed in Fourier series. Galerkin's method is then chosen for disceretizing the partial differential equations. The instability regions of the responses are determined by using the method of multiple scales and the Floquet theory. Fast Fourier transform gives the frequency domain responses for examining the dynamic characteristics. The numerical results are discussed. Parametric studies are also performed.     

用量纲方法分析旋流场中的应力

在全面阐述旋流场应力的基础上,运用量纲分析比较的思想对旋流场中的应力作了分析比较。由分析可知在粘性应力中,切向和径向剪切应力占主导地位;而在湍流条件下,雷诺应力是粘性应力的若干倍数,此倍数在量级上即为雷诺数。由于各应力值的不同,故各应力在旋流场中的作用也各不相同。     

整体涡轮大扭曲叶片电解精加工方法与试验研究

材料为高温合金的整体涡轮盘,其大扭曲叶片加工一直是制造业中的难题。提出多轴联动复合平面摆动展成电解方法加工大扭曲叶片,用一次进给电解实现叶盆、叶背面加工;分析复合平面摆动展成电解加工叶片型面成形规律,优化复合摆动展成电解加工数控编程及阴极结构设计,解决叶背出气边电解过切、根部三角区过切、出口短路等关键工艺问题;进行摆动式展成进给电解试验与分析,一次电解可达叶盆、叶背型面精加工要求。     

对变线距光栅干涉测量中的环形条纹的分析

变线距光栅能够自动聚焦和消像差,在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景,本文用干涉法测量变线距光栅的密度,设计并给出了实验中的光路,发现了环形的干涉条纹和变化规律,分析了这些现象产生的原因,产生明显的环形条纹的必要条件首先是变线距光栅的线密度单调变化的,连续增加或连续减小,其次要光栅的刻线是弯的,第三虚栅的密度接近待测光栅的整数倍,由于元件位置偏差,检测用的平面波会变成球面波,也会产生环形的干涉条纹,但是这种效应可以忽略.预言了类似双曲线的干涉条纹.通过对条纹运动规律的分析,可以在初步测量中定性分析光栅密度的变化趋势,从而为进一步测量做准备.     

主动红外热成像焊球缺陷检测方法研究

IC产品的小型化和多功能化使微电子封装密度不断提高,微焊球技术得以广泛应用,而微焊球尺寸和间距日益缩减,使隐藏于芯片或封装内部的微焊球缺陷检测变得十分困难。主动红外热成像技术被深入研究并应用于微焊球缺陷检测,构建了主动红外微焊球缺陷检测模型,并展开试验研究。对直径和间距较大的BGA焊球采用红外透射式测量法进行检测,对获得的热图像进行空间自适应滤波,然后通过边缘检测分割出焊球区域,减小了热噪声和焊球间隙噪声对缺陷识别的干扰,并通过有效热斑面积进行量化分析;对凸点直径和间距较小的FA10倒装芯片采用红外反射式测量法进行检测,利用改进的自适应滤波算法去除空间椒盐噪声,然后提取像素点温度序列值进行时间域移动平均降噪,并以指数形式进行曲线拟合,通过傅里叶变换进行时频转换,采用脉冲相位法解决了表面发射率差异引起的缺陷辨识度下降等问题,并使用低频段的相位信息进行表征分析。利用主动红外热成像技术实现了焊球缺陷的有效检测,为高密度IC封装及其可靠性分析提供了一种快速、有效的方法。     

一种基于案例与规则推理的集成故障诊断技术

提出一种基于案例与基于规则推理的集成故障诊断技术,在基于案例推理与基于规则推理的诊断技术特点的基础上,论述了这种集成故障诊断系统的总体结构和系统协调问题,给出了系统的功能模型和案例检索流程,系统较好地解决了推理方法选择的技术问题,避免了案例与规则间的相互转换和冲突,接口简单、协调性好、实用性强、效率高,已获得实际应用验证.     

Y32—500B四立柱液压机下横梁的结构优化设计

利用结构优化设计方法,对Y32－500B四立柱液压机的下横梁进行了结构优化设计,研究了其中的一些关键理论和技术,包括下横梁的结构有限元分析,优化方法选择,敏度分析和结构重分析,得到了满意的结果,并应用于生产实际。     

自动化测试在软件黑盒测试中的应用

介绍了黑盒测试的方法,研究了手工测试的缺陷,提出了自动化测试方法在黑盒测试中的应用.给出了两个典型实例,并进行了测试问题的分析和核心脚本的编写.通过对典型实例的总结,分析了在黑盒测试中应用自动化测试技术的优势.在大型软件测试中,该方法的优势更为明显.     

楔形锁紧装置振动传递作用的实验分析

为研究楔形锁紧装置对振动载荷的传递作用,构建了用于研究其振动传递作用的实验装置,通过实验获取了该装置在X、Y和Z 3个方向上的随机振动响应数据,并引入2个量化指标对所得实验数据进行了比较和分析。结果表明,在不同方向上楔形锁紧装置表现出不同的振动传递作用,主要结论有:楔形锁紧装置在不同实验方向上具有不同的振动传递作用,在X方向上有衰减作用,在Y方向上几乎等值传递,在Z方向上具有放大作用;楔形锁紧装置的拧紧力矩大小仅对高频段的传递曲线产生影响,不同方向上所影响的频段范围稍有不同;在自由拧紧状态下楔形锁紧装置的振动传递作用与采用0.010 N·m的力矩拧紧时最为接近。     

空间二次曲线代数不变量的几何解释

利用不变量进行物体识别、形状描述是计算机视觉中非常活跃的一个研究领域。以往关于代数不变量和几何特征方面的研究,主要是利用点、直线等几何元素来计算单视图中平面物体的不变量。本文从实际计算的角度出发,研究了两个未校焦图像中一对不共面空间二次曲线的不变量,利用四元二次型不变量给出了空间两条二次曲线代数不变量的定义,并对其进行了相应的几何解释。在此基础上通过实验验证,证明文中所给公式的正确性。