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美国新泽西州的Rockaway的IonBond LLC公司采用物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和等离子辅助化学气相沉积(PaCVD)法生产涂层材料。其中生产的生物相容性涂层是具有高性能、高使用寿命的医用植入物涂层,薄膜PVD涂层专用用于整形外科植入物、外科手术用具、牙科器具等医用器具的表面涂层。 相似文献
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卢小鹏 《热处理技术与装备》1987,(6)
中温化学气相沉积(以下简称MT—CVD)处理是由瑞士Berna公司的Bernex分公司改进的一种很有发展前途的新型化学气相沉积方法,这种方法是将耐磨的钛的碳、氮化合物Ti(C·N)涂覆在工件和工具表面上。本文就不同温度下涂层的沉积速率和涂层组织、结构、形态、成分、残余应力,耐磨性、耐腐蚀性的差别,对MT—CVD法和常规的高温化学气相沉积(以下简称HT—CVD)法所获得的涂层的各种性能进行了对比。 相似文献
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随着工业技术的快速发展,对工业材料高功能、高性能化的要求也更高。作为高功能的工艺技术有气相沉积法。气相沉积大体分为两类即化学气相沉积法(CVD法)与物理气相沉积法(PVD法)。特别是CVD法,由于是通过在气相中或在基板表面的化学反应形成所要求的材料的薄膜,因此通过控制流入反应室内的化合物气体,可以高纯度地合成多种材料。 相似文献
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综述了超疏水膜层的防腐蚀机理,分析了超疏水膜层表面微-纳二元粗糙结构、表面能与其疏水性的关系,重点介绍了超疏水膜层表面的气垫效应和毛细效应,并阐述了超疏水膜层对金属的防腐蚀机理和腐蚀破坏机理的研究现状。同时鉴于气相法制备技术具备操作简单、成本低、环境友好、适用范围广、制备膜层可重复性好、膜层均匀等优点,综述了3种常用气相法制备超疏水膜层技术—常温常压化学气相沉积技术(常温常压CVD)、等离子化学气相沉积技术(PECVD)和气溶胶辅助化学气相沉积技术(AACVD)的研究进度和各自的优缺点,以及存在的问题。展望了气相法制备技术在超疏水防腐蚀膜层制备中的研究方向。 相似文献
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Ti、V、Nb、Cr等金属的碳化物、氮化物具有极高的硬度和良好的化学稳定性,沉积于工件表面可以大大提高其耐磨性、耐蚀性、抗氧化性、抗咬合性、红硬性等,从而可使其使用寿命数倍、数拾倍地增加。被复处理的方法通常有物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)、盐浴被复法(TD)等。 相似文献
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彭惠民 《热处理技术与装备》1994,(5)
美国亚特兰大的GIT公司开发了新型陶瓷被覆方法。该方法能简单地在工件涂覆氧化物、氮化物、碳化物、硼化物薄膜,并能大幅度地降低成本。 该方法称为燃烧化学气相沉积法(CCVD),它有机地、完善地结合了化学气相沉积(CVD)法与热喷射法的优点,在普通环境下,可进行高质量的陶瓷薄膜涂覆。 相似文献
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纳米涂层应用及主要制备方法 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了纳米涂层的主要应用方面,概括介绍了目前常用的纳米涂层的制备方法,包括刷涂、热喷涂法、化学气相沉积、物理气相沉积、等离子化学气相沉积、溶胶—凝胶法等。 相似文献
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1.前言将TiC、VC等碳化物和TiN等氮化物沉积到切削工具和冷作工具上的技术,已广泛应用于各个领域。这是因为在实用中证实这些硬质物质的沉积处理比已往的表面处理大大提高了工具寿命。硬质物质沉积处理大致分为由W·Ruppert等工业化了的化学气相沉积法(CVD),由Mattox、Bunshah等开发的物理气相沉积法(PVD)及由新井等工业 相似文献
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介绍了化学气相沉积法(CVD)制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF_6和H_2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明:沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时,沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达677×9.8 MPa:沉积温度较高时,沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼的硬度。 相似文献
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一、引言等离子体化学气相沉积(PCVD)在集成电路元件,光导纤维,太阳能电池等领域中已得到广泛应用。近年来,用PCVD 或加热丝的化学气相沉积法,合成金刚石和金刚石膜取得了世人注目的进展。由于低压合成金刚石获得成功的启发,用类似方法制备立方BN 膜的研究也已 相似文献
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等离子体化学气相沉积(PCVD)在集成电路元件,光导纤维,太阳能电池等领域中已得到广泛应用。近年来,用PCVD或加热棘的化学气相沉积法,合成金刚石和金刚石膜取得了世人注目的进展。由于低压合成金刚石获得成功的启发,用类似方法制备立方BN膜的研究也已开始并取得了初步成功 相似文献
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CVD温度对钽沉积层性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了化学气相沉积(CVD)制备难熔金属钽涂层的原理及方法。采用冷壁式化学气相沉积法,在钼基体上沉积出难熔金属钽层。分析研究了CVD温度对沉积层的沉积速率、组织、结构和硬度等的影响。结果表明:在1000~1200℃温度范围,沉积速率随温度升高而增大;当温度超过1200℃时,沉积速率随温度的升高反而略有减小;沉积层组织呈柱状晶并随温度的升高逐渐增大;沉积层的硬度及密度随温度的升高而逐渐降低。化学气相沉积钽的最佳温度在1100℃左右。 相似文献
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采用化学气相沉积法(CVD)和物理气相沉积法(PVD)能将具有高硬度、低摩擦系数、耐磨和耐腐蚀等性能的涂层,如TiC、TiN、Ti(C,N)、硼化物以及 Ti(C,N),TiC/Al_2O_3等多种复合涂层沉积在各种钢材、Ni(Co)合金和硬质合金工件上。本文将讨论工件在室内和许多恶劣的环境内摩擦和磨损的问题,特别着重研究在超 相似文献
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