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区域分裂法在提取多层介质中多导体三维复杂互连结构电磁参数中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文首次将区域分裂法(DDM)用于多层介质中多导体三维复杂互连结构的电磁参数的提取,可以快速、准确地提取复杂互连结构的静态电容矩阵。由于区域分裂法能肥大问题化为若干独立的小问题,不仅可以缩小计算规划,而且可以在该算法框架下灵活地组合各种三维互连结构,具有很强的灵活性,再充分利用集成电路结构分层的特点,对各个小问题采用最恰当的计算方法,从而可大大减少整体设计所需的时间和存储空间。文中给出的计算结果A 相似文献
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向集成电路版图中填充金属哑元(dummy)可减少化学-机械抛光所产生的介质厚度差异,同时它也给传统的寄生电容提取工具带来性能上的巨大挑战.本文基于虚拟多介质加速的直接边界元法,提出一种有效处理含有哑元填充互连结构的三维电容提取算法.通过采用悬浮(floating)边界条件和有效的方程形成和求解方法,该算法在保持高精度的同时,速度比Raphael快几千倍、比文[5]中方法快十多倍.利用本文算法,还对含哑元结构进行了一系列试验,分析其对互连电容的影响,有助于集成电路的优化设计. 相似文献
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一种提取多层介质多导体互连电磁参数的快速算法:有限差分-不变性测试方程法 总被引:2,自引:0,他引:2
本文首次利用MEI方法计算了多层介质多导体互连的电容和电感矩阵.由于引入了测试环的概念,避免了多层结构的格林函数的推导和Sommerfeld积分的计算,同时也去掉了传统MEI方法中MEI系数与几何形状有关的假设.计算结果表明:本文提出的算法正确,与常见的算法如矩量法,边界元法和有限元法等方法相比,计算速度大大加快,并且对结构的适应性强,可以分析截面为任意形状且导体有耗的互连,因此该方法是一种提取电磁参数的快速算法.在计算得到的电容和电感矩阵的基础上,本文还利用双重波形收敛法计算了端接非线性负载的多导体互连各端口的瞬态响应. 相似文献