微机械叉指换能器声表面波陀螺

回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史，总结了声表面波陀螺设计思想的变迁，重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS—IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构，具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点。由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构，抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高。同时，提出了一些迫待解决的问题。     

《压电与声光》1993年第15卷总目次

声表面波技术 期 页 振动惯性技术及其应用 3 1620信道声表面波滤波器组初探 11 一种高性能压电振动陀螺与应用 3 34采用 Y—40”LWbO。的宽带低损耗声表面 压电陶瓷圆筒振子耦合振动的本征频率 波滤波器 17 分析 3 44具有小杂波激励的新切型基片——Y一 陶瓷传感器及应用 3 48 78。二一90oLINto。19 铁电存储器研究进展 3 60压电石英体声波器件的应用特点及发展 压电叠堆相位滞后特性的研究 4 23 趋势 21 高电压梯度的ZnO变阻器 4 27移动通信用SAW滤波器发展动向 2 6 压电陶瓷圆片振子耦合振动的等效电路 6 32抽指延迟线型声表面波温…     

一种新型的角速率传感器--声表面波陀螺

声表面波(SAW)器件具有无源、无线、微型、抗冲击力强，灵敏度高等优点。用它制作角速率传感器——SAW陀螺已成为研究热点。概述了SAW陀螺的应用及发展；着重分析了SAW陀螺两种结构模式的工作原理；指出SAW陀螺设计的关键是如何得到合适的参考振动速度，而使其省掉悬浮振动机构成为简单的单平面结构；提出了亟待研究解决的几个问题。     

双通道声表面波转速传感器

以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验,该传感器的分辨率为12Hz/r.s-1。     

双通道声表面波转速传感器

以声表面波中的陀螺效应为理论基础，通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化，以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构，制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验，该传感器的分辨率为12Hz/r·s^-1。     

《压电与声光》1987年总目次

用于声光频谱分析的硫化抡砷 声表面波技术 期 页(TIsA石O布喇格盒 182宽带SAW压控振荡器的研制 11 声光分色器及单板机控制声光分SAW MSK匹配滤波器及其应用 168 色实验装置 2 20声表面波技术的新应用领域及国 光纤陀螺与环形激光陀螺的技术 际市场预测 21 评论 2 62彩色电视中用的声表面波滤波器2 5 声表面波声-电-光效应 3 42声表面波滤波器失效分析及叉指 具有均匀强度响应的扫描声-电- 换能器的表面保护 2 16 光偏转器 3 45由具有正、负反射系数的反射元 使用同一晶体的压力、、电…     

压电晶体切向对声表面波陀螺刻度因子的影响

刻度因子是陀螺的重要指标,而压电晶体切向对声表面波(SAW)陀螺刻度因子有重要影响。首先以铌酸锂作为分析声波波传特性的基板材料,建立不同的波传角度和不同的切面与各种模态SAW波速的物理数学模型,接着探讨旋转扰动时二次旋转欧拉角与X切、Y切及Z切等铌酸锂晶体中的陀螺效应,分析不同切向刻度因子的变化规律。根据计算结果,铌酸锂晶体中X切Y传(XY)、128°Y切X传(128°YX)、30°ZX、ZX和150°ZX对应的声表面波陀螺刻度因子最大,同时也得出了适合应用于声表面波陀螺的相对敏感切向为声表面波波速接近于慢横波时对应的切向。     

SAW陀螺新型接收电极

该文在理论上分析了声表面波(SAW)陀螺中两列相向传播SAW形成的驻波在哥氏力作用下的相位分布及传播规律,设计出一种新型的接收电极.此电极能将陀螺效应激发的表面波同种电荷积累到一起,改进了原有电极中同根电极上正负相互抵消的缺点,增强了由陀螺效应激发出SAW的接收效率,本结果可对SAW陀螺的设计提供相关参考.     

弹性表面波陀螺

本文介绍弹性表面波陀螺的概况.和激光陀螺一样,弹性表面波陀螺的理论也是在赛格奈克理论基础上建立的.这类陀螺的灵敏度取决于1/λc(λ为波长;c为波速),由于表面波速比光速慢得多,就有可能得到比激光陀螺更高的灵敏度.表面波陀螺有几种基本结构形式,其中有一种利用无接触的电磁换能器的双向性,在旋转园柱体表面产生方向相反的两束表面波,使之形成驻波,由接收换能器接收.根据接收到的讯号可以测定频率及园柱体转速等数据.表面波陀螺比激光陀螺可能有更多的优点:如灵敏度高、体积小、重量轻、设计简单、加工容易及价格便宜等.     

先进微陀螺器件及微惯性测量单元最新研究进展

微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用。高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用。该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传感器技术领域的资助项目,综合研究了微机电系统(MEMS)谐振陀螺、微光学陀螺(MOG)、声表面波(SAW)陀螺等微惯性传感器技术及微惯性测量单元的最新发展现状,并对其发展面临的技术挑战进行了详细地分析与评述。     

半球谐振陀螺总剂量辐照效应性能研究

半球谐振陀螺是一种高可靠的哥氏振动陀螺,在宇航领域有广泛的应用前景。该文研究了在空间辐照环境下总剂量辐照效应对半球谐振陀螺性能的影响,分析了总剂量辐照效应对半球谐振陀螺不同功能模块的影响,包括陀螺敏感头、信号检测电路及控制电路,并进行了总剂量辐照试验验证。结果表明,100 krad(Si)的总剂量辐照对半球谐振陀螺的性能无明显影响,半球谐振陀螺的抗辐照能力能够满足高轨道航天器的应用需要。     

射频SAW器件非线性信号的测量及产生机制分析

射频前端的高度集成和高能量密度使声表面波(SAW)器件的非线性问题愈发严重。该文搭建了射频 SAW 器件非线性信号的测量系统,对SAW 谐振器的二次谐波(H2)和三次谐波(H3)信号进行了准确测量。分析测量结果,讨论了非线性谐波信号的产生机制,并通过非线性有限元(FEM)模型仿真结果与测量结果拟合对比,验证了介电非线性和声应变的非线性效应对谐波产生的影响,为进一步研究非线性抑制方法,设计高线性度 SAW 器件提供了重要支撑。     

声表面波传感器中单端谐振器的匹配电路仿真

声表面波(SAW)传感器主要通过SAW延迟线及谐振器对各种物理量进行敏感。由于谐振器有很高的品质因数(Q),SAW谐振器特别适合无线无源测量。为了能有效地对无线信号进行应答,必须建立相应的匹配电路。基于SAW单端谐振器的等效电路,对单端谐振器的匹配电路进行仿真,并分析了匹配电路元件对谐振器频率特性的影响。仿真结果表明,在匹配电路中,电容对谐振频率的影响显著。     

基于平板电极的半球谐振陀螺全角技术研究

全角模式下的半球谐振陀螺是速率积分陀螺,具有测量范围宽、带宽高和精度高等特点。该文对由谐振子和平板电极组成的两件套半球谐振陀螺的全角模式进行了研究,介绍了全角模式振型控制与信号解算方法;通过FPGA+DSP的构架,实现了全角模式半球谐振陀螺振型控制,并解算了驻波方位角。实验数据证实,研制的两件套半球谐振陀螺样机能够实现速率积分陀螺的功能,测量范围达±400 (°)/s,陀螺最大系统漂移20 (°)/h。相对于力平衡模式半球谐振陀螺,其拓宽了半球谐振陀螺的测量范围,为进一步提升全角半球谐振陀螺的精度奠定了基础。     

2 GHz宽带低损耗SAW滤波器的研制

利用射频电路模拟软件中构建的声表面波(SAW)低损耗滤波器设计工具,对S波段SAW滤波器的设计技术展开研究。通过建立集总参数模型,分析高频下封装效应对滤波器性能的影响,并成功研制出中心频率达2.2GHz,最小插入损耗为-3dB,相对带宽达到7%的SAW滤波器,测试与仿真结果基本一致。     

光纤陀螺的实用化进展

扼要论述了各种光纤陀螺的开发与实用化现状。其中，干涉型光纤陀螺已基本实用化；谐振型光纤陀螺虽处于基础研究阶段，但却是小型化和高性能化陀螺的重要发展方向之一；光纤环形激光陀螺正在作为一种新型陀螺加以研究开发。     

声表面波压力传感器的仿真与设计

该文设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线压力传感器。阐述了SAW单端谐振器的原理,对SAW压力传感器的原理进行了分析。选择了基于类似两端固定梁的敏感结构并利用ANSYS软件对其敏感结构进行仿真、分析。利用Mathcad软件对SAW压力传感器进行建模、仿真。并根据仿真结果设计和制作了SAW压力传感器。测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高,误差小,具备良好的压力频率特性。