基于Cr原子光刻技术的nm光栅间距比对测量定值方法研究

建立了一种基于Cr原子光刻技术的nm光栅间距比对测量定值方法。以国家自溯源光栅标准物质来建立标准样板校准溯源体系的可行性为基础,保障测量仪器更高精度、可溯源性;设计并制备了节距长度有序递增的多周期电子束直写光栅样板,满足可适配于不同分辨率的nm测量仪器的需求,名义节距值分别为200、400、600、800、1 000 nm。经国家自溯源光栅标准物质比对后的AFM完成对nm栅格标准样板的测量与表征,实验表明：电子束直写制备的光栅标准样板均匀性水平1 nm,相对不确定度低于2%,光栅均具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的光栅标准样板能作为一种理想的实物标准运用于nm几何量量值溯源体系。     

新疆区域内气体流量计量能力分析

气体流量计广泛应用在新疆区域内的石油、化工、天然气、热力和电力等行业中,其量值溯源的有效性在贸易交接环节作用重大。2013年新疆开展气体流量标准装置量值比对工作,共有8个计量技术机构参加。比对结果显示合格率为75%,经整改后比对合格率为100%。此次比对工作充分衡量了新疆范围内气体流量计量的整体能力,保证了气体流量量值溯源的准确性和一致性,对新疆气体流量计量工作的发展起到促进作用。     

微小电容测量仪500fF/1MHz溯源方法研究

fF量级高频微小电容测量在军工电子产品领域有着重要作用,针对微小电容测量仪500fF/1MHz点无法溯源的现状,研制了惰性气体封装的500fF高频标准电容器作为传递标准。建立高频小电容测量模型,基于“反算法”估算出500fF高频标准电容器分布参数,称作“理论推导”溯源方案,不确定度优于0.15%;利用3台同等量级的高频微小电容测量传递标准,称作“计量比对”溯源方案,不确定度优于0.07%。利用以上2种方案对同1台仪器开展溯源,实验数据结果基本一致,能够满足用户使用要求,为更低容值、更高频率的微小电容的溯源提供了可参考的路径。     

谈气体流量工作标准装置的量值比对

为了准确的复现天然气流量标准值,科学公正的开展天然气流量量值溯源,我国各地相继建立了临界文丘利喷嘴法气体流量工作标准装置,但是由于各地的工作标准装置建立的时间不同,技术水平也有一定的差异,而且所用介质也不一样,如何建立统一的量值溯源体系成为了解决量值溯源问题的关键.本文介绍了有关气体流量工作标准装置的实际情况,并利用量值比对的方法,对空气和天然气为介质的气体流量工作标准装置的实验数据差异进行了分析,为量值溯源体系的统一提出一定的建议,以保证天然气流量计量的科学性和准确性.     

紫外辐射照度计国内量值比对评述

讨论了紫外辐射照度计标准装置的组成和工作原理,通过实验比对测试证明它具有良好的溯源性和稳定性.江苏省计量院(JSMI)在紫外A1波段320～390nm、C波段:253.7nm,通过与中国计量院(NIM)的比对结果,相对偏差分别仅为-0.84%,0.22%.本次国内量值比对体现了我国紫外辐射照度量值传递的准确一致,保证国...     

甲烷中微量气体标准物质分析方法研究及量值的比对（续二）

建立了甲烷中微量气体标准物质的分析方法和实验条件;考察了该分析方法的不确定度;得出甲烷中微量气体标准物质浓度在（1～50）×10-6（mol/mol）范围内,方法不确定度小于1%的实验结果。实验过程对重量法制备的系列气体标准物质量值进行了分析方法的比对,一致性验证结果在1%内吻合。该项研究成果代表国家最高实验室参与了国际计量委员会组织的CCQM-K66的关键比对,得到了满意的实验结果,获得了国际的等效度。     

低频纳伏电压标准装置溯源方法研究

低频交流微弱电压因受噪声和干扰的影响,计量测试非常困难,其量值溯源更难.本文介绍了一种纳伏电压标准装置,对影响微弱电压测量与量值溯源的噪声与干扰进行了分析研究,采取了抑制噪声和抗干扰措施,提出了衰减末端定标和比对验证进行微弱电压量值溯源的方法,给出了实验数据,并进行了结果分析.     

基于多普勒频移观测值的机动车GPS测速仪校准技术的研究

提出了一种基于现场GPS信号定标的实验室校准方法.利用3光束光遮挡测速标准装置在测试现场对卫星GPS信号直接进行速度实测定标,通过GPS记录仪保存,然后在实验室进行GPS信号回放来完成高精度机动车GPS测速仪在40～180km/h范围内特定速度值的实验室精确校准,溯源至长度和时间计量基本单位.对同一台高精度机动车GPS测速仪的现场道路实际检测和实验室GPS信号回放检测的比对试验,车速在180km/h时采用该方法的速度校准不确定度优于0.1%(k=2).     

NIM和VNIIOFI光谱辐射照度双边比对

2014年12月至2015年1月,中国计量科学研究院(NIM)采用新研制的光谱辐射照度国家基准装置,与全俄光物理测量研究院(VNIIOFI)进行了光谱辐射照度双边比对。比对的波长范围为250～2500nm, NIM和VNIIOFI的光谱辐射照度测量均基于高温黑体辐射源BB3500M,采用高温计测量黑体的温度,溯源至Pt-C和Re-C固定点黑体,并采用WC-C固定点黑体进行了验证,双方在3021K的温度一致性优于70mK。光谱辐射照度双边比对结果表明: 44个比对波长点的光谱辐射照度的平均相对偏差为0.45%。除2000nm波长点的相对偏差为1.1%外,在全波段范围内量值的一致性优于0.90%,均在声称的不确定度范围内。     

激光投线仪线阵CCD检测终端的安装与标定

在利用线阵CCD进行激光投线仪的数字化检测与检定过程中,需要对多个线阵CCD检测终端进行正确安装和标准值获取.本文借助水准仪、经纬仪以及全站仪等测绘仪器进行安装,获取基本标准值,然后通过上位机软件将标准值进行存储,为激光投线仪的检测提供标准.该方法可以很好地做到量值溯源,为激光投线仪的检定提供了法定依据.