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大分子螯合剂在低压力低磨料条件下铜膜的化学机械抛光中的应用 总被引:4,自引:4,他引:0
The mechanism of the FA/O chelating agent in the process of chemical mechanical polishing (CMP) is introduced. CMP is carried on a φ300 mm copper film. The higher polishing rate and lower surface roughness are acquired due to the action of an FA/O chelating agent with an extremely strong chelating ability under the condition of low pressure and low abrasive concentration during the CMP process. According to the results of several kinds of additive interaction curves when the pressure is 13.78 kPa, flow rate is 150 mL/min, and the rotating speed is 55/60 rpm, it can be demonstrated that the FA/O chelating agent plays important role during the CMP process. 相似文献
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利用Thermecmastor-Z热模拟试验机,在变形温度为350~450℃、应变速率为0.001~1 s^(−1)条件下,对一种平均晶粒尺寸为4.1μm、室温抗拉强度达到324 MPa的细晶高强度Mg-Gd-Y-Zn-Zr合金进行了热压缩变形试验。利用Arrenhenius模型描述该合金的热流变行为,并构建了热变形本构方程。结果表明:基于试验数据绘制的真应力−应变曲线显示出较为明显的动态再结晶行为特征。通过数据拟合得出再结晶临界应力约为峰值应力的0.851,临界应变约为峰值应变的0.309;建立了动态再结晶临界应变模型和变形温度为350、400和450℃,应变速率为0.01、0.1和1 s^(−1)条件下的动态再结晶体积分数预测模型。所建立的方程和模型可为细晶高强度Mg-Gd-Y-Zn-Zr合金热变形过程力学行为及组织演变行为的预测提供依据。 相似文献
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"数说"海南水务:六大任务齐头并进
全力做好防汛防风工作.2012年,海南省共遭受6个热带气旋影响,水务厅超前进行部署,狠抓措施落实,各市县、各部门密切配合,有效将灾害损失降到最低程度.
加快推进重点水利项目建设.总投资25亿元的红岭水利枢纽项目已累计完成投资14.88亿元,大广坝二期(灌区)工程高干渠系统已完工,中干渠系统中的干渠已经完工,昌江干渠系统中的干渠已经完工,低干渠和陀兴干渠系统正在建设,项目累计完成投资13.43亿元,占工程总投资的101.9%. 相似文献
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轿车后地板拉深工艺模型确定与成形过程数值模拟 总被引:5,自引:4,他引:1
对某轿车后地板拉深工艺模型构造做了说明,采用3种不同的工艺方案对后地板的成形过程进行了数值模拟,根据模拟结果确定了合理的拉深工艺参数,调试制造出了合格制件。实践表明,经验知识与数值模拟相结合可以有效提高覆盖件工艺制定效率,节省模具调试时间和调试成本。 相似文献
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多变量自校正控制器加权网络选取的限制条件 总被引:2,自引:0,他引:2
从理论上分析了采用多变量自校正控制器设计系统时,目标函数和权网络的选取对系统稳态偏差的影响,给出了使系统无稳态偏差对加权网络选取的限制条件。 相似文献