排序方式: 共有37条查询结果,搜索用时 62 毫秒
21.
22.
深亚微米非均匀掺杂MOSFET的衬偏效应及开启电压模型 总被引:1,自引:1,他引:0
本文根据MOS器件沟道区离子注入引起的衬底杂质非均匀分布情况,提出了一个简单的衬底杂质分布的近似.并以此导出了非均匀掺杂下开启电压的衬偏效应模型.模型中采用了一个双曲函数解决了在不同掺杂区域的边界处,电流(或开启电压)对衬偏VBS的导数的不连续问题,并可通过调整参数δ计及实际器件中衬底掺杂的缓变过程.本文还给出一个与村偏相关的短沟道效应公式,准确地反应了深亚微米器件衬偏效应减小的现象.模型计算的结果与数值模拟的结果十分一致. 相似文献
23.
24.
25.
26.
27.
28.
29.
30.