X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真

开发了理论模型以验证有限元方法用于X射线光刻掩模刻蚀过程数值仿真的正确性。利用相同的有限元技术，对X射线光刻掩模的背面开窗、Si片刻蚀过程进行数值仿真。结果表明，图形区域的最大平面内形变(IPD)出现在上、下边缘处，最大非平面形变(OPD)出现在左、右边缘处。此外对Si片单载荷步刻蚀和多载荷步刻蚀的仿真进行比较，结果表明图形区域最终的形变量与Si片刻蚀的过程无关。     

电制动停机装置在陈村水电站的应用

陈村水电站于１９８７年开始使用电制动停机装置，到１９９２年投用成功率达９６％以上。是国内全部采用电制动停机且连续正常运行时间最长的电站之一，本文简单介绍了电制动原理，重点介绍了电制动装置在陈村水电站运行情况以及提高电制动可靠性的做法，最后叙述了电制动装置应用的体会和今后值得注意的问题。     

同步辐射x射线光刻制作深亚微米T形栅

x射线光刻非常适合用于深亚微米T形栅的制作,这是因为它的高分辨率、大的曝光视场和高的生产效率足以满足MMIC制造工艺的要求。本文中我们首先对我们的x射线掩模制造工艺进行介绍,然后论述了一种用于制造深亚微米T形栅的两层胶工艺,介绍了所取得的一些研究结果,最后对国内的深亚微米光刻现状进行了简要分析。     

用SiH2Cl2沉积MEMS中的多晶硅薄膜研究

用SiH2Cl2在3种温度下进行了多晶硅薄膜的沉积,根据膜厚计算出了沉积速率,用SEM、XRD和薄膜应力测试仪对薄膜进行测试分析.证明用SiH2Cl2在950℃时可以快速沉积用于MEMS的多晶硅.     

悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展

随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟,悬臂梁微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰.对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述,最后指出了悬臂梁微尖端MEMS器件向着大规模阵列化发展的方向.     

如意·2010中国服装论坛

《时尚北京》：面对新的经济形势和世界时尚格局的转变,您认为当前的中国服装在世界经济和时尚领域中将占据怎样的位置？ 陈大鹏：末来十年,将是中国服装产业回归本源、理性发展的十年。中国服装品牌的商业价值和核心竞争力将得到有力提升,国际时尚话语权和影响力也将进一步扩大,并将涌现越来越多具有鲜明设计风格和独特精神表达的先锋品牌继而形成一种群体价值,以参与并影响世界服装业的发展,成为世界时尚领域最重要的领衔力量和精神主张。     

基于物流优化的循环经济工业园区路网规划研究

分析了循环经济与物流发展的关系,认为物流优化是循环经济发展的组成部分。并借鉴交通流分配理论．提出以物流运输总成本最小,物流量守恒为约束条件的物流优化模型。最后以商（州）丹（凤）循环经济工业园区规划为例．分析了物流优化为基础的工业园区路网规划的方法。     

深亚微米同步辐射x射线光刻模拟

用束衍生法研究了深亚微米同步辐射 x射线光刻中掩模吸收体的光导波效应 ,并对 x射线光刻后的光刻胶剖面进行了理论计算。采用面向对象技术 ,研制了一个取名为 XLLS1 .0的模拟软件。本文对这个软件进行了详细介绍     

Fe_3O_4@MgO纳米复合材料的制备及其对Pb~(2+)的吸附性能

采用两步化学沉淀法制备了Fe_3O_4@MgO纳米复合材料,研究了纳米复合材料对Pb~(2+)的吸附性能。结果表明,所制备的复合材料具有较高的顺磁性和稳定性,其饱和磁化强度为58.07 emu/g,初始氧化增重温度为125℃,对Pb~(2+)有较好的吸附能力,在50 min内可以达到吸附平衡,最大吸附量为711.5 mg/g,其吸附过程符合准二级动力学模型和Langmuir等温吸附模型。     

电制动停机装置的应用

陈村水电站位于皖南泾县境内青弋江上游,装机三台,总容量150MW。电网中起顶峰、调频、事故备用作用,开停机非常频繁。1984年至1987年开停机次数分别为788、1010、1130、1621次。三台机采用机械制动装置,操作比较简