纳米压印光刻模版制作技术

在下一代光刻技术中,光刻的成本越来越高,这使得工业界开始寻找新的技术。纳米压印作为非光学的下一代光刻技术,具有分辨率高、成本低、产率高等诸多优点,因而可能应用于将来的半导体制造中。同时,纳米压印也可以用于微机电系统(MEMS)和其他纳米结构的图形复制。纳米压印光刻技术主要包括热压印、紫外固化压印和微接触法压印。介绍了在这3种纳米压印光刻技术中,压印模版制作的制作工艺和模版表面的防粘连处理,并且讨论3种压印方法适用的不同领域。     

热压印光刻技术复制波带片图形研究

针对只需单次曝光的菲涅尔波带片器件,给出了结合电子束光刻和热压印光刻进行大规模复制的完整工艺路线,即首先采用电子束光刻制作热压印模版,之后用热压印光刻进行波带片的大规模复制,所制得的波带片图形的最外环宽度为250 nm,直径为196μm,环数为196环.初步实验结果表明,这种方法具有很好的重复性和易用性,且可以进行低成本波带片的精确复制.     

高密度等离子体刻蚀机中的终点检测技术

高密度等离子体刻蚀是当今超大规模集成电路制造过程中的关键步骤.目前已经开发出许多终点检测技术.文章讨论了终点检测技术的原理,综述了目前主流刻蚀机使用的两种终点检测技术-OES和IEP-的最新进展,讨论了终点检测技术在深亚微米等离子体刻蚀工艺中的应用,以及所面临的挑战.     

沉积温度对a-SiN_x∶H薄膜PL峰的影响

在3.75eV的激光激发下,利用LPCVD在800~950℃不同温度下沉积富硅的SiNx薄膜中,在室温下观测到1~5个高强度可见荧光的发射.通过TEM,IR,XPS等的分析研究表明,文中所获样品为纳米硅镶嵌结构的a-SiNx∶H薄膜.PL峰数目及其各峰的强弱与生成薄膜过程中反应气体SiH2Cl2的分解速率、沉积温度、SiNx生长过程有关,还与薄膜中纳米硅的团簇密度、尺寸大小以及各种不同类型的缺陷态种类和密度有十分重要的关系.     

沉积温度对ａ-SiNx∶H薄膜PL峰的影响

在3.75eV的激光激发下，利用LPCVD在800～950℃不同温度下沉积富硅的SiNx薄膜中，在室温下观测到1～5个高强度可见荧光的发射．通过TEM，IR，XPS等的分析研究表明，文中所获样品为纳米硅镶嵌结构的ａ-SiNx∶H薄膜．PL峰数目及其各峰的强弱与生成薄膜过程中反应气体SiH2Cl2的分解速率、沉积温度、SiNx生长过程有关，还与薄膜中纳米硅的团簇密度、尺寸大小以及各种不同类型的缺陷态种类和密度有十分重要的关系．     

基于神经网络响应面模型的有载分接开关弹簧储能故障的识别

为有效识别有载分接开关的弹簧储能故障,提出一种基于神经网络响应面模型的有载分接开关弹簧储能故障的识别方法.首先,采用有限元法建立有载分接开关的故障仿真模型;然后,基于仿真试验和均匀试验设计生成响应面模型的训练样本,通过样本训练构建神经网络响应面模型;最后,采用意愿函数构造的多目标识别算法对表征弹簧储能不足的力学参数进行识别,通过仿真对UCL型有载分接开关弹簧储能不足故障的识别结果进行验证.研究表明,基于神经网络响应面模型能够有效识别弹簧储能不足故障,识别结果与参考值的最大相对误差为3.93％,验证该方法的有效性.     

预应力技术在工民建框架结构设计中的应用

建筑行业是我国基础行业之一,随着建筑行业的快速发展,人们对建筑项目质量的要求越来越高。工民建筑中涉及到许多力学、建筑学、审美学的知识,而预应力技术则决定了建筑项目的可靠性与安全性,是衡量工民建施工质量的指标之一。接下来笔者将结合自身的经验与调查走访结果,具体论述预应力的作用效果,预应力在工民建框架结构设计中的应用,以及如何从预应力的角度出发提高工民建框架结构设计的质量。     

基于COP曲线的冷水机组节能优化控制

本次研究对数据中心空调系统整体COP值与其冷水机组负载率LR(Load rate)之间的关系进行了分析,重点描述了基于空调系统冷水机组的COP值来对机房内的空调主机进行控制,建立了冷水机组能耗的数学模型,利用了PSO算法的简单易操作性对冷水机组之间的负荷分配进行了寻优计算,实现了空调系统能源利用的合理优化分配,使得空调机组在高效率下运行,取得了较为理想的节能效果。     

集合住宅卫生间同层排水方式比较 ——既有住区建筑更新的工业化技术研究

针对20世纪70至90年代既有住区 的多层居住建筑卫生间设计标准低、排水设 备管线老化严重、管线维修更换影响下层生 活等问题,本研究聚焦在既有住区建筑中的 集合住宅卫生间的排水方式的比较和改造策 略的研究,推荐采用不降板的同层侧墙排水 方式进行既有住宅的卫生间改造,同时也为 新建卫生间的优化提供了参考。     

陕南小城镇安置社区地域适应性评价模型与应用研究

2011年,陕西省委省政府对陕南三市深受自然灾害和贫穷困扰的240万群众实施移民搬迁,安置社区的建设成为了搬迁中的重心工作之一。本文以陕南小城镇安置社区为研究对象,建立地域适应性评价模型,运用层次分析法计算评价因子权重并综合各层因子评价标准的判断得出结果。通过分析评价结果,为社区策划与设计提供思路与建议。本研究初步构建一套基于陕南小城镇安置社区的评价标准,以促进安置社区的建设,并帮助居民提高其对社区实际策划、设计、管理的认知。