一种薄膜体声波谐振器的设计与验证

为简化薄膜体声波谐振器薄膜厚度的设计,提出一种薄膜体声波谐振器薄膜厚度的设计方法。仿真结构由诱导层和其上层的电极层-压电层-电极层的三明治结构组成。在最优有效机电耦合系数下确定初始薄膜体声波谐振器的薄膜厚度;然后确定诱导层厚度及其相应的频偏值;使用频偏值补偿并联谐振频率,重新计算补偿后的薄膜体声波谐振器中电极层与压电层的最优厚度比值,并使用COMSOL Multiphysics进行仿真验证。当并联谐振频率为3.60 GHz时,100 nm的氮化铝的频偏值为0.20 GHz。氮化铝的有效机电耦合系数最优为5.907%,进行频率补偿后,氮化铝的串联谐振频率和并联谐振频率分别为3.48 GHz和3.60 GHz,设计方法得到了验证。诱导层有效地优化了压电层C轴特性,减少了能量损耗。     

影响总氮准确测定因素的探讨

针对废水总氮测定过程中的分析仪器、分析试剂等对影响测试结果准确度的因素进行了研究讨论。提出保证总氮准确测量的措施。     

切尔西街游乐场

<正>切尔西街游乐场位于悉尼市内东雷德福区中心地带,是散布在该区域内的一系列小型公园中的一个。这些公园作为城市的公共区域,在某种程度上犹如戏剧中的配角一般并不夺人眼球,却是城市格局中至关重要的一部分,成为强调道路网络的日常活动空间。附近有更大的公园和游乐场,承载更有活力的     

Fabrication of a 100%fill-factor silicon microlens array

正A simple method has been developed for the fabrication of a silicon microlens array with a 100%fill factor and a smooth configuration.The microlens array is fabricated by using the processes of photoresist(SU8- 2005) spin coating,thermal reflow,thermal treatment and reactive ion etching(RIE).First,a photoresist microlens array on a single-polished silicon substrate is fabricated by both thermal reflow and thermal treatment technologies. A typical microlens has a square bottom with size of 25μm,and the distance between every two adjacent microlenses is 5μm.Secondly,the photoresist microlens array is transferred to the silicon substrate by RIE to fabricate the silicon microlens array.Experimental results reveal that the silicon microlens array could be formed by adjusting the quantities of the reactive ion gases of SF_6 and O_2 to proper values.In this paper,the quantities of SF_6 and O_2 are 60 sccm and 50 sccm,respectively,the corresponding etch ratio of the photoresist and the silicon substrate is 1 to 1.44.The bottom size and height of a typical silicon microlens are 30.1μm and 3μm,respectively. The focal lengths of the microlenses ranged from 15.4 to 16.6μm.     

带使能端及保护电路的LDO设计

设计了一种带有使能端以及保护电路的低压差线性稳压器(LDO)。这种基于传统结构、带有使能端的LDO可在系统电路不工作时被关断,以减小电路功耗。使能信号可由数字模块输出。该LDO带有过流保护、短路保护以及过温保护电路,在过流、过温以及短路时能受到保护,避免电路被损坏。基于CSMC 0.5 μm单阱工艺完成电路设计,输入电压为5 V,输出电压为3 V,最大输出电流为100 mA,输出瞬态电压最大变化为4.26 mV。     

二极管原理非制冷红外焦平面阵列的集成设计

面向非制冷红外成像的低成本高性能应用,二极管原理的红外焦平面阵列的设计和工艺实现得到研究和发展.焦平面和读出电路的设计集成以及CMOS和MEMS工艺集成是此项技术的研究重点.基于SOI的二极管原理焦平面阵列在低成本的利用CMOS工艺实现大规模阵列集成方面有很大的优势.读出电路是基于标准CMOS工艺进行设计的.320×2...     

欧洲人如何应对金融危机

在世界经济疲软的阴影下,越来越多的欧洲人对经济前景失去信心,对未来经济不看好的奥地利人甚至将近八成。瑞典、意大利大批企业短期停工。民意测验显示,超过七成法国人已经打算延迟大宗消费计划。英国人感觉国内生活水平过高,去海外结婚成时髦。西班牙10年繁荣后,房地产泡沫崩溃,遭遇可怕的信心危机……像全球其他地方一样,     

NGWN行星减速器齿圈制造工艺实践

本文介绍了NGWN行星减速器齿圈应用环境,对渗碳淬火齿圈和氮化齿圈进行了分析对比,重点分析了氮化齿圈的工艺过程。     

高密度岩棉隔火条

根据荷兰中央统计局的资料显示,近来,荷兰人比十年前更重视居家安全,并注重采取必要的措施以防盗,双层保安门窗和功能更强的门锁受到用户青睐。荷兰近来社会治安每况愈下。据荷兰警方统计资料显示,平均每分钟有一户人家被盗,每两分钟便有一部私家轿车遭窃。因此如何有效防盗已跃为首要社会话题,而防盗设备市场也相对随之成长。在居家安全方面,多数住家选择使用功能更强的门锁、双层保安门窗或警报系统以防盗。据统计,荷兰平均每十户即有八户换装大门加强锁,13%住家装置双层保安门窗。双层保安门窗荷兰受青睐@刘征宇     

转换机制 搞好改革 提高效益

中国煤炭设计队伍在适应社会主义建设需要的过程中,从无到有、发展壮大.随着科技水平的提高和生产的发展设计水平也逐步提高,从设计中、小型,半机械化开采矿井起步,目前已可以设计特大型、综合机械化开采的现代化矿井,达到了世界先进水平,中国煤炭设计的四十年是卓有成效的,展望未来,前景将更加灿烂.