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The low-temperature processes for fabricating integrated circuits has become essential to the continuous development of smaller, faster solid-state devices and circuits. We have developed a new method, Rapid Lamp Heating/Very Low Pressure-Chemical Vapor Deposition for low-temperature silicon epitaxy. In this paper we study the microstructure of low-temperature(650-800℃) pseudo-homoepitaxial thin silicon films grown by RLH/VLP-CVD using HREM, TEM, SEM, X-ray diffraction technique and Raman spectroscopy. The results indicate that the epilayer is a high quality single crystal layer with a smooth and continuous interface. 相似文献
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基于PCI总线的大容量雷达数据采集系统的设计 总被引:3,自引:0,他引:3
详细介绍了基于计算机PCI总线大容量雷达数据采集系统的研制和实现方法。该系统提供了两路20MHz最高采样频率、12位采样精度的数据采集通道。 相似文献
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自压喷灌技术在山区草场设计中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
针对山区草场地形坡度大的特点,依据自然地理优势,系统介绍了自压喷灌技术规划、设计、运行,对山区草场推广自压喷灌技术,发展牧草业,保护生态环境,提高牧区经济发展,防止草原“三化”,提供了一条新思路,具有推广使用价值。 相似文献
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电信业是最早应用计算机系统的行业之一,也是需求较为复杂的行业,随着各种新的通讯手段的推出,对计算机系统的要求也越来越高。那么24小时不间断的服务需要一个怎样的计算机系统呢?让我带你们去武汉电信看一看。 相似文献
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随机雷达信号的平均模糊函数 总被引:5,自引:1,他引:4
本文导出了随机调频连续波雷达信号和随机二相码连续波雷达信号的平均模糊函数。它们均有“图钉”形状,即在距离和速度上同时具有良好的鉴别能力和测量精度。而且具有良好的抗各种干扰的能力。 相似文献