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本文着重对微波等离子体化学气相沉积法高速沉积的 a-Si∶H 膜的物理性能进行评价研究.测量了沉积膜的光电性能、暗电导激活能、光禁带宽度、光吸收特性、沉积膜中悬键态密度以及氢含量等,并讨论沉积条件对膜性能的影响.结果表明,在沉积速率高达30~90(?)/s 情况下,膜的光电导(光照强度10~5Lux)与暗电导比值可达10~3~10~5,暗电导率从10~(-3)到10~(-11)((?)cm)~(-1),其激活能在0.23~0.88eV 之间(0~200℃温度范围内),光禁带宽度为1.40~2.20eV,氢含量约为2~20%. 相似文献
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Ag~+-β″-Al_2O_3固体电解质SO_x气体传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报道了,采用 Na~+-β~"-Al_2O_3的银离子交换获得以银离子为导体的固体电解质。以金属银为固体参比电极,多孔铂为工作电极而制成原电池型全固态SO_x气体传感器: Pt,Ag|Ag~+-β~"-Al_2O_3|porous Pt,SO_x,O_2,Pt并分别以动态和静态方式评价系统对片状和管状两种形式传感器元件的测试结果。研究表明,在400℃至800℃区间,当SO_2浓度为10~10~5ppm时,元件的气敏响应与理论值相当符合,动态响应时间小于1min。 经优化设计,该传感器有良好的热力学稳定性,克服了以往体系的缺点,可望研制开发为实用、灵敏、快速的SO_x传感器。 相似文献
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以无机盐为原料制备钇稳定的氧化锆超滤膜 总被引:9,自引:0,他引:9
用无机盐ZrOCl2·8H2O和Y(NO3)3·6H2O为原料,以溶胶-凝胶技术路线,在多孔氧化铝支撑体上成功地制备了记稳定的氧化锆(YSZ)陶瓷膜.扫描电子显微镜(SEM)分析表明,用沉淀、胶溶、成膜的溶胶-凝胶技术,不能制备表面无龟裂的YSZ膜.沉淀用共沸蒸馏法干燥,得到高分散性的YSZ粉体,再用超声法制备YSZ氧化物胶体,通过浸渍成膜,SEM分析证明,YSZ膜表面无明显缺陷.室温氮气渗透实验进一步证明,膜结构完整.用等温氮吸附实验测定了无支撑体膜的孔径大小和分布,平均孔径约为6nm.用激光散射技术测定YSZ胶体粒子平均半径为116nm,透射电子显微镜观察表明,胶体粒子由大小约为20nm的晶粒组成. 相似文献
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