偏振混合对双波长外差干涉仪精度的影响分析

本文分析了偏振混合在双波长外差干涉仪中所产生的误差，指出其是干涉仪相位抖动的主要原因．     

无导轨绝对距离测量技术的研究

本文概述了基于小数重合法的无导轨绝对距离测量技术并报导作者研制的多波长无导轨绝对距离测量系统。通过谐振腔腔长的调谐，形成二级合成波长值分别为１ｍ、１１．１ｍｍ，测量精度可达５μｍ±１×１０（－１）×Ｌ（Ｌ为被测长度）。     

激光多普勒效应测量内位移一些问题的研究

本文采用散斑干涉理论研究固体表面内位移测量的激光多谱勒效应方法，理论和实验表明测量结果中存在一项随机相位误差，尽管该误差可在一定程度上补偿，但不能消除，因而限制了测量精度的是提高，此外，本文还给出了测量过程中信号随机消失的原因以及延长信号不间断距离的方法。     

大型零件表面平面度误差的测量方法

大型机械零件表面的平面度误差的测量,在国内外一直处于难以解决的课题。采用传统的方法,如水平仪法、自准直仪法等,测量周期长,测量精度也不高,不适应近年来由于科学技术发展,对大型表面平面度误差要求越来越高的需要,近几年国内已经开展了这方面研究,并已研制出几种可行的高精度测量仪器,如镜板平面度测量仪、双光束扫描法高精度大型平面测量     

适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪

适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬，梁晋文（东南大学机械系南京２１００１８）（清华大学精仪系北京１０００８４）０引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念，可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下，延长干涉测量的非多值区间（ｕｎａｍｂｉｇｕｏｕｓ...     

高精度大型工件内尺寸自动测量系统

目前国内外对中小尺寸的测量技术日趋完善,近十几年来出现许多测量中小尺寸零件的新方法、新仪器,这些新方法和新仪器已基本上能满足现代化生产的要求。但是对大尺寸的测量,特别是大型工件内外径的测量发展却十分缓慢。国外对大直径尺寸精度的     

激光多普勒效应测量面内位移一些问题的研究

本文采用散斑干涉理论研究固体表面面内位移测量的激光多普勒效应方法。理论和实验表明测量结果中存在一项随机相让误差，尽管该误差可在一定程度上补偿，但不能消除，因而限制了测量精皮的提高。此外，本文还给出了测量过程中信号随机消失的原因以及延长信号不间断距离的方法。     

纳米计量技术

本文简述了纳米科学与技术的历史和最新进展，着重介绍了纳米测量技术如扫描隧道显微技术，外差干涉显微技术、Ｘ射线干涉显微技术、基于Ｆ－Ｐ标准具的测微技术等以及纳米定位控制技术及其应用。     

3．39μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径方法的研究

在介绍了３．３９μｍ双波长拍波干涉仪测量原理的基础上，提出了激光瞄准大型工件内外径测量点和３．３９μｍ双波长拍波干涉仪绝对测量大直径的新方法，给出了瞄准定位的实验结果，并对测量系统的误差进行了分析。分析表明：测量系统测量１０ｍ直径时，其测量误差小于０．０３ｍｍ。     

以半导体激光器为光源的准直研究

对半导体激光器的准直装置、温度变化对准直精度的影响、温度控制方法作了论述。试验表明,采用半导体激光器作准直光源,准直的稳定性可达到1×10~(-6)。