高品质三氯氢硅中碳含量的控制

改良西门子法生产的多晶硅,其产品质量中碳杂质的一个重要来源是原料高品质三氯氢硅中的甲基氯硅烷,而四氯化硅冷氢化法生产的原料粗三氯氢硅,在精馏过程中较难脱除的甲基氯硅烷是甲基二氯氢硅和三甲基氯硅烷,在生产中,结合工艺流程优化控制方法,实现产品三氯氢硅中甲基氯硅烷的稳定控制。     

隔膜压缩机膜片破裂分析及解决措施

针对尾气干法回收吸附装置再生气压缩机试运行中出现膜片破裂问题进行分析，提出相应的改进措施，解决了再生气压缩机膜片使用寿命短的问题，降低了设备运行维护成本。