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1.
基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K2)和高谐振频率(f)特性,有望满足5G应用的频段要求。然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低。该文提出一种具有SiO2温度补偿层的SiO2/LN双层结构XBAR,并建立了精确分析层状结构XBAR的有限元模型。理论分析表明,该双层结构XBAR上激励的主模式是一阶反对称(A1)兰姆波。通过合理优化结构参数配置,能够获得高谐振频率(f~4.75 GHz)和大机电耦合系数(K2~8%),同时其温度稳定性也得到显著改善(TCF~-36.1×10-6/℃),相较于单层XBAR结构提高了近70×10-6/℃,这为研制温补型高频、大带宽声学滤波器提供了理论基础。 相似文献
3.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
4.
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我公司1#生产线的窑头使用布袋收尘器,型号:HMMC391-4×4,处理风量:1 350 000 m3/h,过滤风速<0.9 m/min,收尘器风室4 排×4 列。投入使用3个月后停机检查,发现第一排4 个风室的滤袋较多底部被磨穿,主要集中在灰斗四周的前3 环区域,前两排风室其他位置的滤袋也较多出现异常磨损,但后
两排风室的滤袋却完好无损。 相似文献
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9.
基于传统易碎薄板机械手位置伺服控制系统稳定性低、自动化分拣效率低等不足,设计了一种基于笛卡尔坐标式的气动码垛机器手和位置伺服稳定性控制系统。首先,设计并介绍笛卡尔坐标式码垛机械手的基本组成结构,对机械手末端吸盘气动回路控制系统进行设计和分析;然后分别对机械手X、Y、Z三个方向的伺服电机控制原理进行分析并设计了一种位置伺服系统的前馈自适应控制算法;最后,将传统位置闭环PID算法和前馈自适应控制算法进行位置跟踪稳定性对比试验。实验结果表明该笛卡尔坐标式的气动码垛机器手和位置伺服稳定性控制系统设计合理,满足实际生产要求。 相似文献
10.
丰满大坝重建工程是在老坝下游120 m处建设一座新坝,恢复电站的原有任务和功能。老坝兼作为新建工程的上游围堰使用,老坝仍需正常挡水运行。新坝建设期度汛时,老坝下游水位与原运行状态相比发生了变化,会对老坝的安全稳定产生影响,因此,对老坝的典型坝体遭遇不同标准洪水时的抗滑稳定性进行了分析。分析结果表明断层坝段的安全裕度不满足规范要求,但与现状相比并没有恶化,而其余坝段安全性满足规范要求。 相似文献