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溶胶—凝胶法制备掺氟二氧化硅低介电常数薄膜 总被引:2,自引:0,他引:2
采用溶胶-凝胶法制备了低介电常数SiO2薄膜和SiOF薄膜,F的掺入明显地降低了SiO2薄膜的介电常数。研究了F的掺杂量对薄膜介电常数的影响,测定了10-300kHz范围内电容随频率变化的曲线,并计算了相应介电常数。二次离子质谱对薄膜深度分析的结果表明,F在薄膜中的分布是不均匀的。讨论了溶胶-凝胶法制备掺F的SiO2薄膜过程中各种因素对介电常数的影响,并用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌。 相似文献
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本文报道了用溶胶-凝胶法制备TiO2-CeO2薄膜的工艺过程及所制备薄膜的性能,研究了在不同Ce/Ti比及催化条件下浸涂液的成膜能力,胶凝过程以及薄膜的物相和光学性能。结果表明,在浸涂液中加入水或碱会使浸涂液迅速凝胶,而加无机盐会促进老化过程。浸涂液的水解-凝胶过程对薄膜的透过率、表面形貌有显著影响,随Ce/Ti比增大,浸涂液的成膜能力变坏,而薄膜的紫外吸收增大。 相似文献
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以钨粉为主要原料,采用过氧化法及提拉技术制备WO3薄膜,通过SiO2纳米颗粒复合改性提高了WO3薄膜的气致变色稳定性.测试并研究了SiO2复合掺杂对溶胶颗粒分布、气致变色稳定性等的影响,通过测试薄膜循环中红外振动吸收的演变,深入研究了SiO2纳米复合对WO3薄膜气致变色性能影响的内在机制.研究结果表明,SiO2的掺杂抑制了WO3薄膜内的共角聚合,将薄膜的致/褪色循环次数由20次提高到500次以上,WO3-SiO2复合薄膜的稳定网络结构是提高其气致变色循环稳定性的主要原因. 相似文献
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介绍了溶胶-凝胶技术制备铁电薄膜的基本原理,工艺过程及工艺特点,综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的最新进展。 相似文献
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溶胶-凝胶法在PMMA上制备SiO2-Al2O3涂层过程的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用溶胶-凝胶法,以无机盐AlCl3.6H2O、醇盐TEOS及自制偶联剂为原料,在PMMA上制备抗磨涂层,选择出得到高质量涂膜的合适组分及工艺。研究了膜形成的基本规律。 相似文献
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SiO2—TiO2—ZrO2系涂层的制备及其特性 总被引:11,自引:3,他引:8
用溶胶-凝胶法(sol-gel method)在不锈钢表面制备了SiO2-TiO2-ZrO2系无机氧化膜(STZ)。用DTA/TG、IR、XRD和SEM等手段研究了涂层制备时由凝胶向玻璃态的转变以及涂层薄膜的显微结构特点,考察了涂层对基体的保护效果。试验结果表明,在溶胶至凝胶最终转变为无机氧化物的过程中形成了无机网络,Si^4 和Zr^4 充当了网络骨架的形成离子。涂层为无定型玻璃态,其间混有石英、锐钛矿或金红石等微晶。 相似文献
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溶胶-凝胶法制备SiO2/ZrO2无机复合膜的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶--凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜的性能;ZrOCl2的存在对渗透比的影响不大,但能够提高溶胶的交联度,从而提高制膜效率,同时也有利于渗透通量的提高;采用浓溶胶和稀溶胶结合的方式涂膜不但可以提高制膜效率,还可以提高膜的性能.添加剂TEABr能够均化膜孔径,提高膜的性能. 相似文献
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To improve the anti-oxidation properties of carbon fibers (CFs), the sol-gel method followed by pyrolysis was used to coat CFs with SiC/SiO2 ceramic coatings. The SiO2 sol-gel coating was performed by dip coating a PAN(polyacrylonitrile)-based stabilized fiber (PSF) in a silica sol prepared by the polycondensation of tetraethylorthosilicate (TEOS) in the presence of an acidic catalyst. The PSF coated with SiO2 sol then underwent heat treatments at high temperatures in an inert atmosphere to deposit the SiC/SiO2 and carbonize the deposited fibers. The surface morphology of the CFs deposited with SiC/SiO2 was characterized using a scanning electron microscope (SEM). The relative oxidation resistance of the SiC/SiO2 layer deposited on the CFs was determined by the weight loss due to the use of a thermogravimetric analyzer (TGA) under flowing air, and the data were used to calculate the activation energies through an Arrhenius plot. 相似文献
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金属陶瓷涂层耐蚀性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用溶胶 凝胶浸渍提拉法在不锈钢、纯铜及铝合金基底上制作了连续的SiO2 、TiO2 、Al2O3 及SiO2 TiO2 陶瓷涂层。通过阳极极化曲线、循环动电位极化曲线、点蚀电位、三氯化铁腐蚀试验、5 % 硫酸腐蚀试验以及氧化试验检测了陶瓷涂层对金属的保护能力。分析试验结果表明,这些陶瓷涂层大幅度提高了基底金属在腐蚀介质及氧化环境中的寿命。 相似文献
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结合炼钢转炉用风机因炉气而导致叶片磨蚀较快的实际情况,从改善叶片材料的角度出发,采用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2涂层用在金属基体上进行试验。结果表明在含3%(质量分数)Si02磨粒的水介质中,单一三层的SiO2涂层、SiO2-Al2O3-SiO2涂层及混合溶胶制备的复合涂层的耐冲蚀性相近,均比单一三层的Al2O3涂层及A12O3-Sio2-Al2O3涂层好。混合溶胶制备的复合涂层在3%(质量分数)SiO2磨粒的酸性介质中表现出了良好的耐冲蚀性。 相似文献
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