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纳米TiO2薄膜的制备及其紫外光吸收性能的研究 总被引:10,自引:1,他引:9
采用sol-gel法制备TiO2薄膜。用XRD、AFM对其结构及表面形态进行了表征。用UV、SPS测试其光谱吸收、表面光伏特性。结果表明,在高软化温度ITO玻璃上得到比较好的锐钛矿型TiO2薄膜,且具有很强的紫外光吸收特性。随着烧结温度的升高,锐钛矿晶型更加趋于完整,使得紫外吸收曲线的带边蓝移。在紫外光照射下,所制得的薄膜有明显的光伏效应。较之粉体材料,吸收峰更趋向紫外区。为进一步研制新型紫外光传感器提供实验依据。 相似文献
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针对宽禁带半导体紫外探测器响应不够灵敏和响应度偏低等问题,将具有高功函数的Pt电极引入TiO2紫外探测器,采用溶胶凝胶法制备了纳米TiO2薄膜。以金属Pt为电极,采用磁控溅射的方法,将Pt电极溅射在TiO2纳米薄膜上,制作了MSM(Metal-Semiconductor-Metal)型紫外探测器件。在5 V偏压下,探测器的暗电流为4.5 nA,260 nm波长光照下的光电流为5.7μA。在260 nm的紫外光照射下,探测器的响应度达到最大值,约为447 A/W,与其他紫外探测器(200 A/W左右)的响应度均值相比有了很大的提升。最后,设计外围电路,制作出功能完整的紫外强度测试仪。实验表明,该探测器成功地解决了传统宽禁带半导体紫外探测器灵敏度及响应度偏低等问题。 相似文献
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低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作 总被引:1,自引:0,他引:1
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。 相似文献
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Liquid crystal (LC) alignment is most important in LC devices. In this paper, we quantitatively analyze the LC scalar order parameters on the rubbed surface of an alignment layer. Careful measurement of dichroic infrared absorbance is performed. The result gives the evidence that the order parameter of LC just on the rubbed alignment film is only 1/3-1/2 that in the LC bulk. 相似文献