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室温直流磁控溅射氮化钛薄膜研究 总被引:4,自引:0,他引:4
利用直流磁控溅射在室温下沉积出性能优良的氮化钛薄膜,研究了N2流量和偏压对氮化钛薄膜性能和结构的影响,并采用扫描隧道显微镜(STM)技术对其表面形貌进行了较为详细的研究.结果表明,随着N2流量的增加,薄膜的结构从四边型混合结构转变为面心立方 NaCl型结构,最后变为无定型结构,薄膜结构的变化也使薄膜的硬度随之发生变化;施加负偏压不仅能让薄膜中缺陷减少,使膜层变得更致密,而且还能优化氮化钛晶粒,从而获得性能优良的薄膜.从TiN薄膜的表面形貌图可知,薄膜表面平整,缺陷很少,晶粒排列非常致密,且空位及表面缺陷较少. 相似文献
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Graphene was produced via a soft chemistry synthetic route for lithium ion battery applications. The sample was characterized by X-ray diffraction, nitrogen adsorption-desorption, field emission scanning electron microscopy and transmission electron microscopy, respectively. The electrochemical performances of graphene as anode material were measured by cyclic voltammetry and galvanostatic charge/discharge cycling. The experimental results showed that the graphene possessed a thin wrinkled paper-like morphology and large specific surface area (342 m2·g?1). The first reversible specific capacity of the graphene was as high as 905 mA·h·g?1 at a current density of 100 mA·g?1. Even at a high current density of 1000 or 2000 mA·g?1, the graphene maintained good cycling stability, indicating that it is a promising anode material for high-performance lithium ion batteries. 相似文献
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自位补偿联轴器的开发与应用(一)兰海,黄佳木重庆建筑大学(630045)本文介绍了新型刚性可移式联轴器─自位补偿联轴器。该联轴器不但在工作原理及结构设计方面较现有产品有大的突破,而且由于其性能及技术经济指标均优于目前广泛应用的齿轮联轴器,而使之具有十... 相似文献
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提高教育质量是高校办学的一个永恒的主题。大学生的综合素质是教育质量的直接反映。怎样将综合素质教育贯彻到具体的教学活动中去?本文从转变教育教学思想,改革教学方法和手段等方面探讨了培养大学生综合素质的方法和途径,指出教师的综合素质是决定教育质量与水平的关键 相似文献
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AZ31镁合金表面磁控溅射Zr(Al,Ti)-SiN_x复合薄膜及其耐蚀性能 总被引:1,自引:0,他引:1
镁合金表面沉积薄膜可以提高其耐蚀性,但现有的几种沉积方法得到的膜疏松、与基体结合力差,影响了其耐腐蚀性能.为此,采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面制备了Al,Zr,Ti膜及其与SiN_x的复合薄膜.用扫描电镜、X射线衍射、XPS研究了金属膜及其与SiNi_x复合薄膜的晶体结构、表面形貌和化学成分.结果表明:所制备的SiN_x薄膜为非晶态的富N膜;Zr膜的耐腐蚀性最好,Al膜的保护性最差;Zr-SiN_x复合薄膜比AZ31镁合金的腐蚀电流密度降低了3个数量级,Ti-SiN_x复合薄膜在阳极极化区出现了钝化.SiN_x复合薄膜的耐腐蚀性优于AZ31镁合金和单一金属膜. 相似文献
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