X射线激光自支撑Mo滤光膜的制备及特性研究

用直流平面磁控溅射方法在抛光玻璃衬底上淀积Mo薄膜,将薄膜在真空环境中进行热处理,用扫描探针显微镜(SPM)方法观察了薄膜的表面形貌,X-射线衍射方法分析了薄膜中应力各向异性特征及其与淀积时溅射气体压强和真空热处理的关系.发现薄膜中晶粒具有明显的择优取向,内应力沿径向对称分布,切向应力比径向应力更具有压应力特性,应力的各向异性特征与溅射原子的入射方向有关.真空热处理对薄膜中压应力的释放作用不明显,然而能有效地释放薄膜中的张应力.用HF酸腐蚀衬底的方法制备了自支撑Mo薄膜,发现脱膜前后薄膜表面微观形貌未产生大的变化.     

宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计

提出一种宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计方法。给出了18nm 20nm波段的设计结果,整个波段的反射率与25%的最大偏差小于1.5%.这种方法对于软X射线波段的成像、光谱分析等应用有重要意义。     

长距离流体输送管道泄漏检测与定位技术的现状与展望

介绍基于软件的泄漏检测和定位方法的发展现状，即基于模型的方法、基于信号处理的方法和基于知识的处理方法等，对上述方法存在的优缺点进行了评述，并对泄漏检测和定位方法的未来发展方向提出了作者的看法。     

用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性

我们用Ｈｅｎｋｅ型软Ｘ射线源完成了栅网的接触式成像，采用Ｔａｌｙｓｔｅｐ台阶仪测量了不同曝光时间ＰＭＭＡ光刻胶的溶解速率。由测量曲线可知光刻胶在显影开始时速率较快，随着时间的增加，溶解速率逐渐趋缓，最后达到所有的曝光时间下的样品的溶解速率都相同。这与理论分析十分吻合。     

18.2nm正入射显微成像系统滤光片的研究

18．2nm正人射显微成像系统用多层膜可极大地提高18．2nm的反射率，但它对紫外、可见和红外光也产生很高的反射。显微成像系统用的激光等离子体光源会在红外到敦X射线产生大量的辐射，18．2nm正入射显微系统用的胶片对所有光谱都十分敏感。因此，182nm正人射显微成像系统需要用滤光片滤除不需要的光辐射并对18．2nm的软X射线有较大的透射比，这样才能获得18．2nm的软X射线像。本文讨论了18．2nm正入射显微成像系统用滤光片的设计、制作及其特性。为了去除滤光片膜中的应力，用交替蒸镀Al和C多层膜的方法来制备法光片，铝和碳膜是用磁控溅射法制备的。针孔透过率和成像实验表明，所制备的滤光片满足了18．2nm正入射显微成像系统对滤光片的要求，并且为进一步制备其他薄膜滤光片打下了基础。     

精心组织 积极探索努力创建事业单位新机制

中部引嫩工程管理处是以水利工程经营管理为主要职能的生产经营性事业单位。主业是向大庆油田生产生活和沿渠农业、渔苇业以及扎龙自然保护区供水，并承担嫩江、乌裕尔河防洪工程的日常管理任务。中引管理处现有总资产5．46亿元，所属3个管理所，22个管理站，有员工近200人，体制内员工120人。中引管理处1997年起实行事业单位企业化管理体制，已实现了由财政供养向反哺财政的转变，年创产值5000多万元，上缴税金300多万元。为了建立适合企业化管理的运作机制，几年来我们进行了积极的探索，但由于认识上的局限性和缺少配套政策的支持，许多改革措施缺乏系统性和规范性，改到痛处只好停一停，传统体制和机制的弊端没能根本解决。2003年，市委、市政府部署了事业单位改革的工作，并配套出台了相关的政策文件。我们抓住这一机遇，精心组织，积极探索，把市委、市政府事业单位改革精神和有关政策与中引管理处的实际相结合，建立起一套比较适合中引生产经营要求的组织结构、岗位序制、薪酬制度、管理体系。     

软X射线激光用分束镜研究

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13．9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1．6％。     

在线Low-E玻璃光学特性机理及其功能层光学常数的确定

从D rude色散理论和薄膜光学的基本方法出发,用理论公式对在线Low-E玻璃的透射谱线进行拟合,得到了Low-E玻璃功能层的光学常数。利用Burstein-M oss理论,计算得到了功能层的自由载流子浓度;理论计算与实验结果的一致性表明,D rude理论不仅能很好地定量解释在线Low-E玻璃的光学特性,而且为在线Low-E玻璃光学常数的理论计算提供了一种切实可行的方法。