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本文主要研究硬脆晶体材料化学机械抛光中基片内材料去除非均匀性的形成机理.首先分析了化学机械抛光时抛光机的运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律.然后通过基片内材料去除非均匀性实验,得出了抛光机运动参数对基片表面材料去除非均匀性的影响.通过比较理论分析与实验结果,基片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性及接触压力分布非均匀性随转速的变化趋势与基片表面材料去除非均匀性的实验结果相差较大,只有磨粒在基片表面上的运动轨迹分布非均匀性与基片表面材料去除非均匀性的实验结果趋势相同.研究结果表明,基片表面材料去除非均匀性是由磨粒在基片表面上的运动轨迹分布非均匀性造成的,充分说明了基片表面材料去除的机械作用主要是磨粒的机械作用. 相似文献
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为稳定获得高品质球墨铸铁,以牌号为QT450-15球墨铸铁件为研究对象,选用含镁、稀土不同的两种球化剂对原铁液在一定的球化处理温度范围内进行球化处理,并采用光学显微镜、扫描电镜、万能拉力试验机等方法对镁的吸收率、石墨球的大小、球化率、力学性能等进行了分析。研究了球化处理温度和低镁球化剂对球墨铸铁组织性能的影响。研究表明:在1450~1500℃内调整球化处理温度,选用低镁低稀土球化剂进行盖包法球化处理,球化反应平稳,Mg吸收率稳定在50%以上。铁素体含量大于95%,石墨球圆整细小。抗拉强度Rm大于450 MPa,伸长率A大于22%。 相似文献
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铸态QT450-15高韧性球墨铸铁的生产 总被引:1,自引:0,他引:1
叙述了铸态QT450-15高韧性球墨铸铁的生产过程。分析了化学成分、脱硫处理、球化及孕育处理等主要工艺因素对铸件生产的影响。 相似文献
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工业生产线的智能装配技术是提高生产线工作效率,保证产品统一性的关键手段。日趋复杂的工业产品结构对智能装配控制精度的要求也越来越高,其中,基于实时在线测量的反馈校正技术成为了研究热点。为了实现工业生产线智能装配过程的柔性测量,提出了基于光纤传感的反馈式装配控制方法。该系统采用多FBG传感器获取装配结构实时应变,由不同封装FBG传感器完成温度应变解耦。最终通过神经网络学习的方式完成对位置偏移程度进行换算,实现装配位置实时校正。采用Matlab对螺钉结构装配过程进行仿真,模拟了不同长度和施力大小的螺钉应力分布,结果显示螺钉长度越长,相同作用力下应变越大。并且螺钉的主要应变集中在螺孔边缘位置。实验分别采用悬臂梁应变标定实验获取不同封装状态的拟合曲线,采用温度标定实验消除应变测试数据中的温漂效应,采用位置偏移实验获取校正参数。结果显示,对于长度为15.0 mm的螺钉,系统平均解算精度约为0.012 3 mm/N,对于长度为20.0 mm的螺钉,系统平均解算精度约为0.022 1 mm/N,并且具有很好的线性度。 相似文献
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自动化装配被应用于生产生活的各个领域,而随着装配产品结构复杂程度的提升,对装配轨迹自动校正能力的要求也在不断的提高。为了对装配轨迹的实时在线校正,提高装配精度及稳定性,提出了一种基于光纤传感的自动化装配轨迹校正系统。系统由光纤传感阵列、轨迹误差分析模块以及校正控制模块构成。结合装配结构外形特征,设计了光纤传感阵列分布形式。通过实际测试标定完成了波长变化与应变偏移量之间的函数推导。通过ANSYS软件,仿真分析了轮轴结构装配异常状态下,不同应力造成的应变量变化及趋势。实验首先通过温漂补偿与应力标定测试,得到光纤传感单元的线性变化值为00008nm/N,并且具有很好的线性度。然后针对装配结构在0~200N应力变化范围内的应变偏移程度进行了测试,并与三维扫描仪进行了对比,结果显示,相对误差最大值为683,均值为527。总之,该系统可以在线完成自动化装配过程的轨迹校正。 相似文献
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为获得兼具较高强度和良好低温冲击韧性的球墨铸铁铸件,向球墨铸铁中加入质量分数约0.5%的Ni进行合金化,并对其进行中温奥氏体化(880℃+3 h)和低温退火(720℃+4 h)处理.采用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)对铸态和热处理态试样的显微组织和冲击断口形貌进行分析;利用万能试验机、布氏硬度计和摆锤式冲击试验机等对铸态和热处理态试样进行了室温拉伸、硬度检测、低温冲击等力学性能测试.结果表明:铸态球墨铸铁的微观组织由珠光体、铁素体和球状石墨及少量的渗碳体组成,其强度、硬度偏高,塑性、韧性较差;热处理态试样中的珠光体向铁素体转变后为铁素体和球状石墨,试样强度、硬度有所降低,塑性、韧性得到明显的改善;铸态试样呈现典型的脆性断裂特征,热处理态试样冲击断口处存在少量韧窝,断裂模式以解理断裂为主,伴有少量塑性变形的韧脆混合断裂,且在-40℃冲击功达到12.4 J;比较铸态与热处理态的冲击断口形貌可知,试样断裂方式由脆性断裂转变为韧脆混合断裂. 相似文献