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基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K2)和高谐振频率(f)特性,有望满足5G应用的频段要求。然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低。该文提出一种具有SiO2温度补偿层的SiO2/LN双层结构XBAR,并建立了精确分析层状结构XBAR的有限元模型。理论分析表明,该双层结构XBAR上激励的主模式是一阶反对称(A1)兰姆波。通过合理优化结构参数配置,能够获得高谐振频率(f~4.75 GHz)和大机电耦合系数(K2~8%),同时其温度稳定性也得到显著改善(TCF~-36.1×10-6/℃),相较于单层XBAR结构提高了近70×10-6/℃,这为研制温补型高频、大带宽声学滤波器提供了理论基础。 相似文献
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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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文化是一个国家、一个民族的灵魂。曲阳县"三馆三中心"广场景观设计以文化为引领,创新设计,融合建筑理念,将雕塑、陶瓷文化融入到景观设计当中,塑造出简洁现代、时尚灵动的多元文化空间。同时,设计服务于居民,满足大众需要,大大提升人们的生活品质。 相似文献
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本文介绍了陶瓷泥浆解胶的作用、陶瓷泥浆的解胶机理、解胶剂的制造工艺,常见的品类,历史沿革和发展趋势。 相似文献
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婴戏纹饰即描绘儿童游戏时的画作,是中国人物画的一种,更是陶瓷装饰中常见的传统题材。其主要以儿童为主要绘画对象,表现儿童纯真,或借以其他物象,组成吉祥图案,在我国陶瓷绘画上广泛运用,有着深刻的社会形态特征和思想文化的背景。其始于唐代,兴盛于宋金,明清两朝日臻成熟,并延续至今。在西方艺术史当中,儿童形象大都通过神话人物或宗教相关的艺术品走进人们视野,用以表现某些宗教思想或精神诉求。本文主要探讨陶瓷婴戏纹饰在我国历史发展历程中的演变概况,以及笔者对我国陶瓷婴戏纹饰和西方艺术品中儿童形象横向对比下的一些思考。 相似文献